高純蒸發(fā)料

蒸發(fā)作為PVD技術(shù)的一種，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中的芯片背面金屬化工藝，中諾新材（北京）科技有限公司作為專業(yè)的PVD薄膜材料供應(yīng)商，可以提供各種規(guī)格的全系列高純金屬蒸發(fā)材料。這些材料可做成絲狀，片狀，顆粒狀。適用于鎢絲籃加熱蒸發(fā)，鎢舟，鉬舟蒸發(fā)，各種坩堝蒸發(fā)等。

同時(shí)，這些材料亦廣泛應(yīng)用于精密合金熔煉、高純化合物制備以及高品質(zhì)晶體制備等領(lǐng)域。

中諾新材可提供不同形態(tài)的貴(gui)金屬蒸發(fā)材料。常規(guī)規(guī)格如下：

商品名稱常規(guī)尺寸

高純金顆粒 99.999%φ3*3mm φ1mm、φ0.5mm

高純銀顆粒 99.99%φ2*5mm φ1mm、φ0.5mm

高純鉑顆粒 99.99%φ2*5mm φ1mm、φ0.5mm

高純鈀顆粒 99.99%φ2*5mm φ1mm、φ0.5mm

高純釕顆粒 99.95%1-6mm   10-20mm

高純銠顆粒 99.95%φ2*5mm

高純銥顆粒 99.95%φ2*5mm

另外，我公司可提供多種蒸發(fā)用耗材如：鎢絲籃、鎢蒸發(fā)舟，鉬蒸發(fā)舟、鎢坩堝，鉬坩堝，銅坩堝，石墨坩堝，氮化硼坩堝等產(chǎn)品，并且可根據(jù)用戶需求進(jìn)行定制加工。

靶材綁定服務(wù)1

綁定服務(wù)Bonding

為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中裂靶，中諾新材可為客戶提供綁定（Bonding）服務(wù)，把靶材綁定在銅背板上，除了具有保護(hù)靶材免于運(yùn)送或者拿取中的意外開裂，也可確保靶材的冷卻及電接觸良好，并可改善靶材使用時(shí)機(jī)械強(qiáng)度不足的問題或解決大尺寸面積靶材受限的問題。一般靶材綁定用的背板為金屬銅， 金屬鈦，金屬鉬和不銹鋼，背板是在濺射時(shí)支撐靶材，以防靶材在濺射中出現(xiàn)開裂等問題，提高靶材的使用率和使用壽命