背靶綁定服務(wù)

鑒于陶瓷靶材導(dǎo)熱性能不好、易裂的特點(diǎn)，我們建議陶瓷靶材綁定銅背靶。我們采用純銦焊料，高純度無氧銅背靶，進(jìn)行靶材綁定。綁定的靶材受熱均勻，導(dǎo)熱快，可降低靶材碎裂的可能性，提高靶材的使用壽命。

技術(shù)參數(shù)如下

工作溫度（℃） 150

綁定面積 100%全銦焊綁定

粘結(jié)層厚度（mm） 0.2±0.003

導(dǎo)熱系數(shù)（w/mk） 83

熱膨脹系數(shù)（K-1） 32.1x10-6

電阻率（ohm-cm） 8x10-6

為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中開裂，中諾新材可為靶材提供綁定服務(wù)。以防靶材在濺射中出現(xiàn)開裂等問題，提高靶材的使用率和使用壽命

目前能提供純銦、InSn系列、自主研發(fā)的高溫導(dǎo)電膠系列等焊料綁定服務(wù)，綁定率＞95%，達(dá)到國際現(xiàn)金水平。

綁定范圍：金屬靶、陶瓷靶、合金靶、旋轉(zhuǎn)靶、平面靶、圓形靶、異形靶。

檢測方法：超聲波探傷檢測C-SCAN

中諾新材研發(fā)介紹：

1. 研發(fā)種類：各種比例的金屬合金、各種比例的陶瓷化合物摻雜、二元混合，三元混合，四元混合等多元混合材料。

2. 研發(fā)材料規(guī)格：靶材（圓靶 平面靶 旋轉(zhuǎn)靶 異形靶）、顆粒、圓柱、絲、棒、粉末、錠塊，可根據(jù)客戶要求。

3，研發(fā)設(shè)備：

1. 真空中、高頻熔煉爐

2. 真空懸浮熔煉爐

3. 真空電弧熔煉爐

4. 真空熱壓爐

5. 真空燒結(jié)爐

6. 氣氛燒結(jié)爐

7. 區(qū)熔提純設(shè)備

8. 真空蒸餾設(shè)備

9. 進(jìn)口全套機(jī)械加工設(shè)備