儀器 型號                            VMS-2515E           VMS-3020E                  VMS4030E   
        金屬臺尺寸（mm）              450X280                 500X330                    606X466   
工     玻璃臺尺寸（mm）              306X196                 350X250                    450X350
作     運動行程（mm）                  220X120                 270X170                   370X270 
臺     Z軸升降行程(mm)                 150（調(diào)焦）           150（調(diào)焦）              150（調(diào)焦）
        X、Y、Z軸數(shù)顯分辨率           0.5（μm）               0.5（μm）                 0.5（μm）
       X、Y坐標示值誤差（μm）                    ≤(3+L/150)μm（L為被測長度,單位mm）

              儀器重量(kg)                 146                     168                     266
              外形尺寸(mm)           760X600X900                                970X670X940

               三軸運動速度         100mm/s
電  機
               三軸定位精度          0.001mm 

                   攝影機：           SONY彩色1/2 " CCD攝影機
                   雙焦鏡頭：       美國NAVITAR雙焦鏡頭/帶同軸光變雙鏡頭（二選一）
影像系統(tǒng)      雙焦鏡頭倍率：0.7~4.5X
                   視頻總倍率 ：    23.5~148X 
                    物方視場 ：       11.7~1.7mm

   電  源        AC220V/AC110V
    消耗功率    100W（不包含電腦）

儀器配件        1X鏡筒（選配）               0.5X鏡筒（選配）                工作距離
(mm）

雙焦鏡              0.7X~4.5X                      0.7X~4.5X           

附加鏡                   視頻倍率          物鏡視場（mm）             視頻倍率          物鏡視場（mm） 

0.5X（選）          11.8X~74X          22~3.4         5.9X~37X          44~6.8            175
 標 配                   23.5X~148          11.1~1.7     11.8X~74X        22~3.4             92
2X（選）              47X~296X           5.5~0.9       23.5X~148X      11.1~1.7          36