從上圖中，可以看到Zemax OpticStudio的分析過程。

例如“Element Tolerances” （TE**操作數(shù)）被設(shè)置為一些Coordinate Break，從而使元件傾斜或者離心。原本設(shè)定中是Standard的表面現(xiàn)在被設(shè)置為了Irregular的表面形態(tài)，因此可以考慮球差或者像散。同樣，透鏡參數(shù)例如厚度、半徑、玻璃材料等現(xiàn)在都不是原始值，而是加入了一些擾動來模擬公差。注意：兩個透鏡之間的厚度被設(shè)定為變量，并且評價函數(shù)被定義如下圖

總結(jié)

公差分析是一個復(fù)雜的流程，這篇文章介紹了公差分析的整個流程，內(nèi)容包括：

（1） 優(yōu)化你的設(shè)計直到超越目標(biāo)規(guī)格，且要超過一定適當(dāng)?shù)牧俊?

（2） 建立一組默認(rèn)公差操作數(shù)。Zemax OpticStudio提供超過一種方法來模擬同一種公差，你必須選擇最1能代表實際制造，測試以及組裝時使用的方法。

（3） 編輯公差操作數(shù)以考慮不同的組裝方式，并加入可能的補(bǔ)償器。

（4） 定義公差評價標(biāo)準(zhǔn)，此標(biāo)準(zhǔn)須符合實際工廠的測試方式。

（5） 建立一些Monte-Carlo文件并確認(rèn)公差操作數(shù)有依照你預(yù)想的方式工作。

（6） 執(zhí)行靈敏度分析。

（7） 手動緊縮一些棘手的公差，或者使用逆向敏感度分析Inverse Sensitivity，讓Zemax OpticStudio自動計算。

（8） 一旦確定你的公差都沒有問題之后，設(shè)定執(zhí)行N2個Monte-Carlo分析，其中N為公差操作數(shù)的數(shù)量。

（9） 檢查反靈敏度分析產(chǎn)生的公差操作數(shù)參數(shù)值，確保他們在合理的范圍內(nèi)。

ZEMAX?光柵插件模塊介紹ZEMAX里邊所有的光柵模型均為理想的光柵模型，不考慮光柵的衍射效率隨光波長、入射角、衍射級次的變化，所有波長、入射角、衍射級次都假定衍射效率100%，嚴(yán)重不符合物理實際，也無法進(jìn)行公差分析。

我們自定義的光柵模塊Grtaing_XE.dll可以對上述模型進(jìn)行修正，得到比較真實的衍射效率曲線。該光柵插件模塊基于標(biāo)量衍射理論，支持正弦光柵、矩形（方波）光柵、基諾（kinorform）型光柵、二元光柵（Binary）等位相光柵，支持衍射效率計算，而且可以對光柵的刻線密度及光柵的形貌（槽深度）進(jìn)行公差分析，便于像質(zhì)分析。