電子束蒸發(fā)靶材

中諾新材（北京）科技有限公司可提供種類齊全的熱蒸發(fā)靶材，電子束蒸發(fā)靶材，標準顆粒尺寸為：φ2*5mm，φ3*3mm，φ6*6mm，加料預熔方便，產品純度99.99-99.999%。并且可提供配套蒸發(fā)舟，蒸發(fā)線圈，坩堝等

貴（gui）金屬材料金顆粒 銀顆粒 鉑顆粒 鈀顆粒

常規(guī)金屬材料鋁顆粒 銅顆粒 鈦顆粒 鎳顆粒 鉻顆粒

合金材料金鍺合金  金鍺鎳合金  金錫合金 鎢鈦合金

配套坩堝銅坩堝 鎢坩堝 鉬坩堝 石墨坩堝 氮化硼坩堝

背靶綁定服務

鑒于陶瓷靶材導熱性能不好、易裂的特點，我們建議陶瓷靶材綁定銅背靶。我們采用純銦焊料，高純度無氧銅背靶，進行靶材綁定。綁定的靶材受熱均勻，導熱快，可降低靶材碎裂的可能性，提高靶材的使用壽命。

技術參數(shù)如下

工作溫度（℃） 150

綁定面積 100%全銦焊綁定

粘結層厚度（mm） 0.2±0.003

導熱系數(shù)（w/mk） 83

熱膨脹系數(shù)（K-1） 32.1x10-6

電阻率（ohm-cm） 8x10-6

高純鎢的制備方法可分為粉末冶金法、熔煉法和化學氣相沉積法。

1、粉末冶金法：指鎢粉經過成形后，加熱到其熔點下的某個溫度，通過物質遷移完成致密化的過程，最終可得到鎢坯或某些形狀簡單的鎢制品。

2、熔煉法：指將鎢原料加熱到其熔點以上形成液相，去除雜質后再冷卻凝固實現(xiàn)致密化的過程，根據(jù)所采用的手段不同，具體方法有真空自耗電弧熔煉法、電子束熔煉法和等離子束熔煉法等。

3、化學氣相沉積：指以鎢化合物氣體（一般為WF6）為鎢源，在一定溫度下被H2還原，將生成的鎢沉積在特定的基底上，沉積完成后去除基底材料獲得致密鎢坯（或者制品）的過程。