但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無(wú)一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。不過(guò)近年來(lái)電子級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
工業(yè)去離子水繼續(xù)在蒸發(fā)器中盤(pán)旋上升，經(jīng)過(guò)汽水分離裝置，作為純蒸汽從純蒸汽出口輸出，工業(yè)蒸汽在蒸發(fā)器被原料水吸收熱量后凝結(jié)成工業(yè)蒸汽凝結(jié)水作為預(yù)熱器的加熱源，預(yù)熱原料水后從預(yù)熱器不凝結(jié)水排放出口排出機(jī)外，采用高溫高壓操作，確保穩(wěn)定生產(chǎn)無(wú)熱原注射用水，所生產(chǎn)的蒸餾水。

水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無(wú)一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

水中各種離子含量即水的純凈度指標(biāo)有電阻率（MΩ.cm）與電導(dǎo)率(us/cm)兩種測(cè)量單位，兩種單位互為倒數(shù)換算關(guān)系，如果水中離子含量越低，水質(zhì)就越好，對(duì)應(yīng)電阻率越高，電導(dǎo)率就越低，25℃理想狀態(tài)下超純水的電阻率值是18.25 MΩ.cm，對(duì)應(yīng)電導(dǎo)率換算是0.055us/cm。為客戶提供從設(shè)計(jì)方案、設(shè)備制造成套、安裝施工調(diào)試以及售后質(zhì)量跟蹤服務(wù)的高品質(zhì)、高標(biāo)準(zhǔn)、高技術(shù)的一條龍服務(wù)，真正為客戶解決各類水質(zhì)難題。

去離子水,一般采用的是反滲透+離子交換混床工藝制得的純水,一般電導(dǎo)率可以達(dá)到0.056us/cm,很容易制取高純度的水,成本比較低,也是目前普遍制取純水的工藝.但是,在問(wèn)題方面,如果不加處理,不如蒸餾水好.這種工藝制得的純水,微生物含量比較有保障.如果離子交換工藝做的去離子水,后端采用了殺菌措施,則去離子水的純度會(huì)更高一些,而且成本更低.