廢氣處理主要治理的氣體種類有苯、甲苯、二甲苯,醋酸乙酯,,乙醇,丙烯酸,甲醛等有機廢氣,硫化氫,,氨等酸堿廢氣處理和有機廢氣處理.通過采用真空紫外線破壞有機廢氣分子的化學鍵，使之裂解形成游離狀態(tài)的原子或基團，同時裂解混合空氣中的氧氣，使之形成游離的氧原子并結(jié)合生成臭氧。臭氧與有機廢氣分子被裂解生成的原子發(fā)生氧化反應，形成H2O和CO2。