本機(jī)適用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化鉀片及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。
主要特點(diǎn)：
1.變頻器配合異步電機(jī)拖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。
2.采用雙電機(jī)同步拖動(dòng)，太陽輪變速范圍更廣，能適應(yīng)不同研磨工藝的要求。
3.太陽輪與內(nèi)齒圈同步抬升，滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求。
4.上下研磨盤采用斜齒輪傳動(dòng)，提高了運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)性。
5.采用PLC控制，壓力采用電—氣比例閥閉環(huán)反饋控制，壓力等級(jí)設(shè)定更方便精確，操作簡單易行，工作可靠穩(wěn)定。
6.本機(jī)應(yīng)用人機(jī)界面（PT）采用人機(jī)界面終端（NT）顯示與PLC控制，一方面顯示運(yùn)行參數(shù)，另一方面通過其觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項(xiàng)工藝參數(shù)，主操作由普通鍵鈕完成。
7.造型及內(nèi)部結(jié)構(gòu)充分考慮了可靠性、實(shí)用性、互換性和操作和維修的方便性。
主要技術(shù)參數(shù)：
1、研磨盤尺寸：φ1112mm×φ380mm×50mm
2、游星片參數(shù)： 公制M=2 Z=212
英制DP12 Z=200
3、游星片數(shù)量：5片
4、研磨直徑：φ350mm
5   研磨厚度：0.40mm/φ125mm
6、研磨厚度：30mm
7、下研盤轉(zhuǎn)速0-50rpm
8、主電機(jī)：11kW AC380V 1450rpm變頻調(diào)速
9、副電機(jī)：1.5kW AC380V 1400rpm
10、 砂泵參數(shù)：1/4HP 380V
11、 氣源：0.5-0.6MPa
12、 外形尺寸：2200mm×1600mm×2700mm
13、 質(zhì)量： 約5600Kg
主機(jī)精度：
1.下研盤端跳：0.06mm
2.研磨盤平面度：0.025mm
3.太陽輪徑向跳動(dòng)：0.08mm
4.齒圈徑向跳動(dòng)：0.15mm
加工精度（四個(gè)修正輪修研后）：
1.修正輪修研后平行平面度：≤0.004mm
2.加工件平面平行度：≤0.0035/φ125mm
加工能力：
1.單片承片量：17片/φ75mm 8片/φ100mm 5片/φ125mm
2.整盤承片量：85片/φ75mm 40片/φ100mm 25片/φ125mm