設備名稱.Gener- 1300

1.真空室SUS304 φ 1300X 1500mm (H)

工件架 φ 1200mm

工件架轉(zhuǎn)速 最大30rpm(可調(diào))

晶振式膜厚計 |XTC/C+6點式晶振探頭

蒸發(fā)源 電子槍1套臺

2.性能

極限真空7.0E- -5Pa以下

抽氣時間< 10分鐘(大氣壓~3.0E- -3Pa)

加熱溫度最高: 350°C

3.工作條件

安裝空間約4500mm (W) x 6000mm (D) x 3200mm (H)

消耗電力|3相, 200VAC, 50/60Hz， 約70KVA

冷卻水流量100升/分以上

壓縮空氣壓力0.5~0. 7MPa

總重量約7000kg

 

 

廠低價出售3臺剛下產(chǎn)線  日本光弛真空鍍膜機

產(chǎn)品名：OTFC-1300

型 式：1300

產(chǎn)品參數(shù)：

 真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H) 

工件架  Ф1130mm 

工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 50rpm(可變) 

光學膜厚控制 350nm to 1100nm反射式/透射式 

水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器 

蒸發(fā)源  電子2套  

離子源 17cmRF離子源 

排氣系統(tǒng) 機械泵2個擴散泵Polycold（或2個冷凝泵） 

 性能

達到壓力 7.0×10-5Pa以下 

排氣時間  15分（大氣壓～1.3×10-3Pa） 

基板溫度 高：350℃ 

工作條件

設備尺寸 約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)  

電源 3相,200v,50/60Hz,約104KVA  

水流量 140升/分以上 

空氣壓力 0.5MPa以上  

重量 約9000kg