相機(jī) : 4百萬像素相機(jī)
照明: IR-RGBLEDDomeSstyedluminabion(選項(xiàng))
Z軸分辨率 : 0.37μm

測(cè)量原理：
非接觸激光測(cè)度儀由激光器產(chǎn)生線型光束，一定的傾角投射到待測(cè)量目標(biāo)上，由于待測(cè)與基板存在高度差，此時(shí)觀測(cè)到的目標(biāo)和基板上的激光束相應(yīng)出現(xiàn)斷續(xù)落差，根據(jù)三角函數(shù)關(guān)系可以用觀測(cè)到的落差計(jì)算出待測(cè)目標(biāo)與周圍基板存在高度差，從而實(shí)現(xiàn)非接觸式的快速測(cè)量。

基板對(duì)應(yīng)
軌道寬度調(diào)整 :自動(dòng)
軌道固定方式 :前軌固定/后軌固定(出貨時(shí)固定)

測(cè)量方式：3D測(cè)量或2D測(cè)量
光學(xué)放大倍率：25～110倍（5檔可調(diào)）
影像大?。?00×480 Pixel 電源：220V～50Hz
照明系統(tǒng)：環(huán)形LED光源（PC控制亮度）