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1、中頻爐坩堝的使用,不能和HF接觸,高溫時,極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
2、中頻爐坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明中頻爐坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國家已用此坩堝取代了小的透明中頻爐坩堝。他具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
3、除HF外,普通稀無機(jī)酸可用作清洗液。國內(nèi)常用拉制單晶硅用中頻爐坩堝18英寸和20英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國內(nèi)坩堝生產(chǎn)廠家生產(chǎn)的18和20英寸坩堝技術(shù)都比較成熟。其生產(chǎn)使用原料石英砂主要由美國進(jìn)口。國內(nèi)產(chǎn)的石英砂純度都達(dá)不到其要求。其原料里雜質(zhì)在生產(chǎn)時高溫熔制過程中產(chǎn)生黑點(diǎn)氣泡等 對拉制單晶硅時其穩(wěn)定性都有一定影響。
石墨坩堝中,又有普型石墨坩堝、異型石墨坩堝、高純石墨坩堝三種。各種類型的中頻爐坩堝,由于性能、用途和使用條件不同,所用的原料、生產(chǎn)方法、工藝技術(shù)和產(chǎn)品型號規(guī)格也都有所區(qū)別。
石墨坩堝的主體原料,是結(jié)晶形天然石墨。故它保持著天然右墨原有的各種理化特性。
即:具有良好的熱導(dǎo)性和耐高溫性,在高溫使用過程中,熱膨脹系數(shù)小,對急熱、急冷具有一定抗應(yīng)變性能。對酸,堿性溶液的抗腐蝕性較強(qiáng),具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性。
坩堝的型號規(guī)格較多,在應(yīng)用時不受生產(chǎn)規(guī)模、批量大小和熔煉物質(zhì)品種的限制,可任意選擇,適用性較強(qiáng),并可保證被熔煉物質(zhì)的純度。
石墨坩堝,因具有以上優(yōu)良的性能,所以在冶金、鑄造、機(jī)械、化工等工業(yè)部門,被廣泛用于合金工具鋼的冶煉和有色金屬及其合金的熔煉。并有著較好的技術(shù)經(jīng)濟(jì)效果。
坩堝的種類大體分為三大類:第一類煉銅坩堝,其規(guī)格“號”,;第二類為煉銅合金坩堝,特圓形有100個號,圓形有100個號,第三種煉鋼用的坩堝,有100個號。
中頻爐坩堝規(guī)格(大?。?,通常是用順序號大小表示的,1號坩堝具有能熔化1000g 黃銅的容積,其重量為180g。坩堝在熔煉不同金屬或合金時熔化量計算,可以坩堝的容重規(guī)格號,乘上相應(yīng)金屬和合金系數(shù)。
坩堝的生產(chǎn)原料,可概括為三大類型。一是結(jié)晶質(zhì)的天然石墨,二是可塑性的耐火
粘土,三是經(jīng)過煅燒的硬質(zhì)高嶺土類骨架熟料。近年來,開始采用耐高溫的合成材料,如:碳化硅、氧化鋁金剛砂及硅鐵等做坩堝的骨架熟料。這種熟料對提高坩堝產(chǎn)品質(zhì)量,增強(qiáng)坩堝密度和機(jī)械強(qiáng)度有著顯著效果。