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氦質(zhì)譜檢漏儀

以下是深圳銳誠真空公司為您一起分享的內(nèi)容，銳誠真空公司專業(yè)生產(chǎn)銷售氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶蒞臨。

氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會(huì)對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小（相對分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)越性

氦質(zhì)譜檢漏法是根據(jù)質(zhì)譜分析的原理, 以氦作示蹤氣體, 對各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測的理想方法。

由于氦是惰性氣體, 對大氣無污染, 使用比較安全； 而且氦的原子量小、粘度小, 容易滲透過任何可能存在的漏隙, 因此檢測靈敏度高、速度快、適用范圍廣； 另外氦在大氣中含量少(僅萬分之五) , 離子質(zhì)量與其它氣體離子質(zhì)量相差很大, 不易受干擾, 錯(cuò)判幾率小。所以, 與其它諸多檢漏方法比, 氦質(zhì)譜檢漏具有的優(yōu)越性。

隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展, 檢漏應(yīng)用技術(shù)在不斷地更新, 氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)也在不斷擴(kuò)展到更廣闊的領(lǐng)域當(dāng)中。為提高產(chǎn)品合格率和生產(chǎn)效率, 不應(yīng)一味沿用的古老且落后的手段處理泄漏問題。

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