直線馬達(dá)工作中基本概念

直線馬達(dá)不但從構(gòu)造上是以轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)演化?而成的，其原理也與轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)類似，遵?循電機(jī)學(xué)的某些基礎(chǔ)電磁感應(yīng)基本原理。這兒直流電永?磁直線馬達(dá)為事例，表明一下下直線馬達(dá)的基礎(chǔ)原理。VLP0020-0160是這款音圈電機(jī)，和平行線?電動(dòng)機(jī)在某種意義上是相同的。差別取決于，音?圈電動(dòng)機(jī)只能1個(gè)電磁線圈，磁極通常不超出2對(duì)，?只被規(guī)定在兩只磁極的范疇里健身運(yùn)動(dòng)，也也不?必須換相了。當(dāng)必須攻克這類行程安排限定，就?必必須有大量的磁極，和大量的電磁線圈來接力，?這就是說直線馬達(dá)。因此音圈電機(jī)也稱為無(wú)換?向直線馬達(dá)。)下面的圖表達(dá)的是典型性的平板電腦直線馬達(dá)的構(gòu)造。圖中的深灰色的一部分是底版，?淡黃色的格子為一片片的永磁體，淡黃色和深灰色一部分構(gòu)成了直線馬達(dá)的電機(jī)定子。相?鄰2個(gè)永磁體的旋光性是反過來的，因此磁感線的遍布如圖所示中圖示。淡黃色的點(diǎn)表?示次級(jí)線圈中輸電線的截面。能夠看見輸電線的方位基礎(chǔ)垂直平分磁感線的方位，當(dāng)輸電線中根據(jù)電流量時(shí)，?會(huì)造成安培力。由左手定則能夠獲知，依據(jù)輸電線中電流方向的不一樣，能夠使?電磁線圈造成往左邊或是往右邊的力。這一力就是說使直線馬達(dá)立即做勻速直線運(yùn)動(dòng)的推力。直線馬達(dá)絕大多數(shù)為直流電永磁同歩直線馬達(dá)。別的類型?的直線馬達(dá)，如溝通交流永磁同歩直線馬達(dá)、溝通交流磁感應(yīng)直線馬達(dá)、步進(jìn)電機(jī)直線馬達(dá)。這種電動(dòng)機(jī)工作中的基本概念全是相近的。

直線馬達(dá)應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)點(diǎn)

近年來，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，受到了國(guó)家和各級(jí)政府部門的重視。它在政策的推動(dòng)下取得了快速發(fā)展。2017年，半導(dǎo)體行業(yè)直線馬達(dá)的業(yè)績(jī)約占整個(gè)市場(chǎng)的22.5%。十三五期間，政府和當(dāng)?shù)厝匀怀雠_(tái)了一系列政策，大力鼓勵(lì)和支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。希思克預(yù)測(cè)，未來半導(dǎo)體行業(yè)仍會(huì)出現(xiàn)快速增長(zhǎng)，增幅約為22.5%。

最常見的直線電機(jī)類型有平板直線馬達(dá)、U形槽直線電機(jī)和圓柱直線電機(jī)。圓柱型直線電機(jī)即音圈電機(jī)。音圈電機(jī)具有構(gòu)造簡(jiǎn)單、響應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動(dòng)性好、密封性能好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、運(yùn)行穩(wěn)定可靠、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。因此，這種電機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體涉及器件和其他發(fā)展領(lǐng)域。音圈電機(jī)的應(yīng)用市場(chǎng)前景非常廣闊。

半導(dǎo)體領(lǐng)域的音圈直線馬達(dá)應(yīng)用。

貼片中應(yīng)用

音圈電機(jī)在帖片步驟中務(wù)必進(jìn)行的動(dòng)作主要有拾取、轉(zhuǎn)動(dòng)、配備3個(gè)一部分。拾取和旋轉(zhuǎn)動(dòng)作僅僅需要對(duì)運(yùn)動(dòng)目標(biāo)位置有要求，音圈電機(jī)的拾取、旋轉(zhuǎn)兩個(gè)動(dòng)作均為重復(fù)運(yùn)動(dòng)。芯片放置是整個(gè)貼片過程中重要的環(huán)節(jié)。為了保證貼片的可靠性，這一環(huán)節(jié)不僅需要高精度的位置控制，還需要控制音圈直線馬達(dá)直線軸的輸出力，即力/位置混合控制。具體到音圈直線馬達(dá)的控制方式上，即如何高效率、安全地實(shí)現(xiàn)音圈電機(jī)的著陸。后者能有效實(shí)現(xiàn)音圈電機(jī)的軟著陸控制，在參數(shù)設(shè)置、編程和運(yùn)動(dòng)軌跡觀測(cè)方面均優(yōu)于前者。

最常見的直線馬達(dá)類型有平板直線電機(jī)、U形槽直線電機(jī)和圓柱直線電機(jī)。圓柱型直線電機(jī)即音圈電機(jī)。音圈電機(jī)具有構(gòu)造簡(jiǎn)單、響應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動(dòng)性好、密封性能好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、運(yùn)行穩(wěn)定可靠、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。因此，這種直線馬達(dá)廣泛用于半導(dǎo)體涉及器件和其他發(fā)展領(lǐng)域。

引線連接器

與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機(jī)構(gòu)和XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)上使用。Z軸機(jī)構(gòu)是通過用金屬線連接電極和引線框而相對(duì)于XY平臺(tái)上的集成電路芯片上下移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。

XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)是因?yàn)檫B接位置的改變而移動(dòng)放置集成電路芯片電極和引線框架的工作臺(tái)的機(jī)構(gòu)。

有效減振器

為保證半導(dǎo)體涉及裝置中的加工精度，對(duì)裝置所存放地基的震動(dòng)以及建在裝置上的驅(qū)動(dòng)設(shè)備產(chǎn)生的震動(dòng)都要予以抑制。原先是用彈簧和流體進(jìn)行被動(dòng)的或主動(dòng)的震動(dòng)抑制，因?yàn)橐羧?span style="color:#E53333;">直線馬達(dá)的構(gòu)造簡(jiǎn)單，響應(yīng)性好等優(yōu)勢(shì)，并且對(duì)檢測(cè)的振動(dòng)能實(shí)現(xiàn)抵消作用的操作。這一有效減振器非常實(shí)用，由此而贏得積極的推廣。

雙軸十字平臺(tái)

隨著工業(yè)4.0的發(fā)展，音圈直線馬達(dá)已成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的核心部件。 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形音圈電機(jī)的峰值推力達(dá)到5000N，行程達(dá)到300mm，擺動(dòng)型音圈電機(jī)的峰值轉(zhuǎn)矩達(dá)到50N.M，擺動(dòng)角度超過120°。音圈直線馬達(dá)將在許多領(lǐng)域贏得更多的應(yīng)用，慢慢取代傳統(tǒng)電機(jī)如齒條和螺桿。