深圳銳誠真空技術(shù)有限公司主營：真空箱氦檢設(shè)備,sf6微水儀,sf6檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

真空泵

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。真空檢漏真空檢漏

利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋片式兩種：（1） 往復(fù)式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)式運(yùn)動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，將氣體吸入、壓縮并排出。

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干式真空泵

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真空檢漏真空檢漏

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干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面:

1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;

4)在化學(xué)工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有ji溶劑造成污染，適合用干式真空泵;

5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

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真空設(shè)備氦檢漏

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真空檢漏真空檢漏

氦分子在質(zhì)譜檢漏儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高，用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低，分子質(zhì)量及粘滯系數(shù)小，因而極易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體是無破壞性、無du、無危險，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氦質(zhì)譜檢漏儀（調(diào)整到僅對氦起反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器某一部位有漏孔，則氦質(zhì)譜檢漏儀立即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在位置及檢測漏氣量大小。

泄漏和密封是相對而言的，氦質(zhì)譜檢漏儀檢測被檢容器的泄漏程度的量化一般用漏率來表示，其計算方法原理如下：

漏率的定義：Q1=Δp×VΔt［1］。

式中：Δp為壓強(qiáng)的變化量；V為容器的體積；Δt為時間的變化量。

因此漏率可簡單理解為：單位時間內(nèi)，單位體積容器，壓強(qiáng)的變化。

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