長沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司是一家專注于儀器工控設(shè)備、測試方案系統(tǒng)集成的高新技術(shù)科技企業(yè)。作為專業(yè)的儀器設(shè)備及測控集成ATE提供商，多年來堅持自主研發(fā)創(chuàng)新，結(jié)合引進代理各大知名品牌的優(yōu)質(zhì)儀器設(shè)備，致力于提供更科學(xué)智能的軟硬件測試方案，廣泛應(yīng)用于科研行業(yè)、生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、化工、材料、環(huán)境、地質(zhì)、能源、藥物、刑事偵查和其他相關(guān)領(lǐng)域。如有需求請致電我們，我們將為你提供最佳的測試方案。

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• 可同時檢測正反兩面晶圓
• 最大可檢測6吋擴膜晶圓(檢測區(qū)域達8吋範(fàn)圍 )
• 可因應(yīng)不同產(chǎn)業(yè)的晶粒更換或新增檢測項目
• 上片後晶圓自動對位機制
• 自動尋邊功能可適用於不同形狀之晶圓
• 瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規(guī)格
• 瑕疵檢出率高達98%
• 可結(jié)合上游測試機晶粒資料，合併後上傳至下一道製程設(shè)備
• 提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料並進行分析

Chroma 7940晶圓檢測系統(tǒng)為自動化切割後晶粒檢測設(shè)備，使用先進的打光技術(shù)，可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結(jié)合不同的光源角度、亮度及取像模式，使得7940可以適用於LED、雷射二極體及光敏二極體等產(chǎn)業(yè)。

由於使用高速相機以及自行開發(fā)之檢測演算法，7940可以在3分鐘內(nèi)檢測完6吋LED晶圓，換算為單顆處理時間為15msec。7940同時也提供了自動對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7940可配置2種不同倍率，使用者可依晶?；蜩Υ贸叽邕x擇檢測倍率。系統(tǒng)搭配的最小解析度為0.5um，一般來說，可以檢測1.5um左右的瑕疵尺寸。

系統(tǒng)功能

在擴膜之後，晶粒或晶圓可能會產(chǎn)生不規(guī)則的排列，7940也提供了搜尋及排列功能以轉(zhuǎn)正晶圓。此外，7940擁有人性化的使用介面可降低學(xué)習(xí)曲線，所有的必要資訊，如晶圓分佈，瑕疵區(qū)域，檢測參數(shù)及結(jié)果，均可清楚地透過使用者介面(UI)呈現(xiàn)。

瑕疵資料分析

所有的檢測結(jié)果均會被記錄下來，而不僅只是良品/不良品的結(jié)果。這有助於找出一組最佳參數(shù)，達到漏判與誤判的平衡點。提供瑕疵原始資料亦有助於分析瑕疵產(chǎn)生之趨勢，並回饋給製程人員進行改善。