直線馬達(dá)走刀驅(qū)動(dòng)器的關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)：

1、走刀速率范疇寬?？蓮?（1）m/s到20m/min左右，數(shù)控機(jī)床的快放速率已達(dá)208m/min，而傳統(tǒng)式數(shù)控車床快放速率<60m/min，通常為20～30m/min。2、速率特點(diǎn)好。速率誤差達(dá)到（1）0.01%下列。3、瞬時(shí)速度大。直線馬達(dá)較大瞬時(shí)速度達(dá)到30g，數(shù)控機(jī)床的走刀瞬時(shí)速度已達(dá)3.24g，激光加工機(jī)的走刀瞬時(shí)速度已達(dá)5g，而傳統(tǒng)式數(shù)控車床走刀瞬時(shí)速度在1g下列，通常為0.3g。4、精度等級(jí)高。選用光纖傳感器反饋控制，精度等級(jí)達(dá)到0.1～0.01（1）mm。運(yùn)用前饋控制的平行線電機(jī)驅(qū)動(dòng)器系統(tǒng)軟件可降低偏差200倍左右。因?yàn)榻∩磉\(yùn)動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)態(tài)性特點(diǎn)好，沒有響應(yīng)靈巧，再加刀具半徑補(bǔ)償操縱的精細(xì)化管理，可保持氧化硅操縱。5、行程安排不受到限制。傳統(tǒng)式的滾珠絲杠傳動(dòng)系統(tǒng)受滾珠絲杠生產(chǎn)制造加工工藝限定，通常4～6m，更的行程安排必須接線滾珠絲杠，不管從生產(chǎn)制造加工工藝還是在特性上也不理想化。而選用平行線電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，電機(jī)定子可加長(zhǎng)，且生產(chǎn)制造加工工藝簡(jiǎn)易，現(xiàn)有大中型高速加工中心X軸將近40m左右。6、構(gòu)造簡(jiǎn)易、健身運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定、噪音小，健身運(yùn)動(dòng)構(gòu)件磨擦小、損壞小、使用期長(zhǎng)、可以信賴。

淺析直線馬達(dá)選型的重要性

隨著“工業(yè)4.0”和“只能制作”等政策的推進(jìn)，國(guó)家加大了對(duì)工業(yè)制造的投入與支持。工業(yè)機(jī)械自動(dòng)化不斷發(fā)展，同時(shí)帶動(dòng)了直線馬達(dá)在中國(guó)快速成長(zhǎng)。直線電機(jī)具有高產(chǎn)出，高定位精度，維修方便的特點(diǎn)，滿足了許多工廠的生產(chǎn)需求，提高企業(yè)的生產(chǎn)效率。然而并不是任何情況下應(yīng)用直線馬達(dá)都能取得良好的效果。因此直線電機(jī)正確選型是非常重要的。

直線馬達(dá)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)電機(jī)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)有所不同。旋轉(zhuǎn)電機(jī)往往通過絲杠、皮帶輪等轉(zhuǎn)

動(dòng)部件轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)動(dòng)。而直線電機(jī)采用直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)，直線電機(jī)的性能起到了決定性的作用。直線電機(jī)用戶往往對(duì)負(fù)載的運(yùn)動(dòng)有一系列的要求。這樣就需要我們?yōu)榭蛻暨x擇一款合適的電機(jī)。如果選擇不當(dāng)，則可能達(dá)不到客戶的要求，或者給客戶造成成本不必要的上漲。并不是所有的傳統(tǒng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)都能被直線電機(jī)替代，如果工作狀態(tài)不能發(fā)揮直線馬達(dá)的高速性能，這種替代可能是不合理的。

傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)可以通過減速機(jī)構(gòu)保證功率的正常發(fā)揮，而直線馬達(dá)系統(tǒng)的持續(xù)推力和大推力

力是有限制的，且卻不能通過減速等方式產(chǎn)生更大的力。所以當(dāng)速度很低時(shí)，力也不能變大，所以正常的功率不能被發(fā)揮出來。

直線馬達(dá)應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)點(diǎn)

最常見的直線馬達(dá)類型有平板直線電機(jī)、U形槽直線電機(jī)和圓柱直線電機(jī)。圓柱型直線電機(jī)即音圈電機(jī)。音圈電機(jī)具有構(gòu)造簡(jiǎn)單、響應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動(dòng)性好、密封性能好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、運(yùn)行穩(wěn)定可靠、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。因此，這種直線馬達(dá)廣泛用于半導(dǎo)體涉及器件和其他發(fā)展領(lǐng)域。

引線連接器

與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機(jī)構(gòu)和XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)上使用。Z軸機(jī)構(gòu)是通過用金屬線連接電極和引線框而相對(duì)于XY平臺(tái)上的集成電路芯片上下移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。

XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)是因?yàn)檫B接位置的改變而移動(dòng)放置集成電路芯片電極和引線框架的工作臺(tái)的機(jī)構(gòu)。

有效減振器

為保證半導(dǎo)體涉及裝置中的加工精度，對(duì)裝置所存放地基的震動(dòng)以及建在裝置上的驅(qū)動(dòng)設(shè)備產(chǎn)生的震動(dòng)都要予以抑制。原先是用彈簧和流體進(jìn)行被動(dòng)的或主動(dòng)的震動(dòng)抑制，因?yàn)橐羧?span style="color:#E53333;">直線馬達(dá)的構(gòu)造簡(jiǎn)單，響應(yīng)性好等優(yōu)勢(shì)，并且對(duì)檢測(cè)的振動(dòng)能實(shí)現(xiàn)抵消作用的操作。這一有效減振器非常實(shí)用，由此而贏得積極的推廣。

雙軸十字平臺(tái)

隨著工業(yè)4.0的發(fā)展，音圈直線馬達(dá)已成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的核心部件。 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形音圈電機(jī)的峰值推力達(dá)到5000N，行程達(dá)到300mm，擺動(dòng)型音圈電機(jī)的峰值轉(zhuǎn)矩達(dá)到50N.M，擺動(dòng)角度超過120°。音圈直線馬達(dá)將在許多領(lǐng)域贏得更多的應(yīng)用，慢慢取代傳統(tǒng)電機(jī)如齒條和螺桿。