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傳統(tǒng)過濾器因為效率和壓降問題，不僅自身需要頻繁更換，且要消耗大量的風(fēng)能。而恒效運行的自動除塵凈化系統(tǒng)由于無需自動過濾器，機組壓力適中保持在15-20Pa，不消耗風(fēng)能。例如：一個約有1120m3空間欲做10萬等級的無塵車間，采用新技術(shù)只要采用5.5KW主機(造的起，用得起)，傳統(tǒng)模式需18KW主機。新技術(shù)可以做到不更換任何耗材三年后檢測數(shù)據(jù)等同于新機效果，開機時間持續(xù)越長潔凈度越高，這是傳統(tǒng)技術(shù)無法比擬的。

無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

對于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。