深圳銳誠真空技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 電腦產(chǎn)品制造設(shè)備
銳誠真空檢漏設(shè)備-銳誠真空檢漏設(shè)備品牌-檢漏設(shè)備
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真空箱式氦檢漏系統(tǒng)
深圳銳誠真空公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售氦檢漏設(shè)備,我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。
真空箱式氦檢漏系統(tǒng)
概述
本設(shè)備適用對充氣環(huán)網(wǎng)柜(以下簡稱工件)進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空,使工件內(nèi)外壓差不大于0.04Mpa,對被檢工件充注氦氣,應(yīng)用真空箱法進行氦質(zhì)譜氣密性檢測,通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用,后向工件內(nèi)充入規(guī)定壓力的SF6和氮氣工作氣體。
回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時,利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設(shè)備內(nèi)一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機,并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發(fā)溫度特性,將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續(xù)抽吸至SF6壓縮機串聯(lián)運行,直至達到回收終壓力。
性能特點
1、安全
★ 電氣系統(tǒng)具有自我檢測、連鎖保護和報警功能,確保系統(tǒng)本身運行安全可靠和被檢工件的安全。
★ 真空箱門設(shè)安全光電保護裝置,確保操作者安全
★ 氦氣示蹤安全環(huán)保。
★ 儲氣罐和壓縮機出口配置安全閥保證系統(tǒng)安全。
2、高靈敏度
★ 檢漏精度高。
★ 抑零功能,消除氦本底影響。
檢漏設(shè)備
深圳銳誠真空技術(shù)多年技術(shù)經(jīng)驗,為您解決后顧之憂,歡迎您撥打電話~~~
用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。
質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來,靈敏度高。
2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng),不會污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開,定標(biāo)找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。
5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
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氦質(zhì)譜檢漏儀
1.智能化:以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助,而現(xiàn)在的觸屏式,自動檢測。
2.便捷化:這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。
3.自動化程度高:自動校準(zhǔn)氦峰,自動調(diào)節(jié)0點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜擇功能,一個按鈕即可完成全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。