品牌 博科金屬
材質(zhì) 鈦圓
規(guī)格 按照客戶需求定制
產(chǎn)地 寶雞
是否危險化學(xué)品 否
熔點 1668℃
牌號 TA1
工藝 熱軋 鍛造
表面 光亮面
用途 航天 化工 醫(yī)療 蒸發(fā)、鍍膜、濺射
商品介紹
溫馨提示:我公司產(chǎn)品可根據(jù)客戶需求加工定制,根據(jù)材質(zhì)、規(guī)格不同,價格有所不同,故以上價格參數(shù)僅供參考,詳情請來電咨詢 ,咨詢電話13571763445(微信同號)王經(jīng)理。
博科金屬TA1高純度鈦圓靶高強度 耐腐蝕 耐高溫 定制
靶材的主要性能要求
純度
純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應(yīng)用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
雜質(zhì)含量
靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。
寶雞博科金屬制品有限公司位于工業(yè)重城,素有“鈦城”美譽的--寶雞。公司依托“中國鈦城”的強大綜合實力,進行的資源共享,具備得天獨厚的地域、材料、等優(yōu)勢,為用戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品。
我公司主要生產(chǎn)鈦及鈦合金的鍛件、鈦板、鈦棒、鈦管、鋯板、鋯棒、鋯鑄件及鈦鑄件,鎢、鉬、鉭、鈮、鉿等有色金屬的產(chǎn)品。公司產(chǎn)品遍布海內(nèi)外,國內(nèi)市場包括:北京、廣州、上海、天津、四川、內(nèi)蒙、山東、江蘇等地;國際市場包括:美國、日本、德國、澳大利亞、加拿大、東南亞等地區(qū),產(chǎn)品質(zhì)量受到一致好評,建立很多長期合作關(guān)系。
我公司堅持以人為本的管理理念,以科技為支撐、以創(chuàng)新為動力、以質(zhì)量求發(fā)展、以誠信為生命,努力打造成為鈦制品行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)。追求客戶與公司的共同發(fā)展,歡迎各行業(yè)新老客戶來電來函洽談業(yè)務(wù)!
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