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種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設計方案。

集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下，而化學機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。另外，集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規(guī)定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設計上就要有所要求。

云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調(diào)設備安裝專業(yè)公司。

壓縮空氣滅菌設備通常使用空氣過濾器對空氣進行過濾除了菌；空氣過濾技術(shù)多用于通風及空調(diào)進氣系統(tǒng)中，凈化大氣中的粉塵顆粒，使進入室內(nèi)空氣更為干凈，利用空氣過濾器能捕集亞微米粒子；空氣過濾器的纖維組織常使用金屬網(wǎng)格、無紡織物或特殊紙質(zhì)的濾料，也可根據(jù)不同的凈化要求使用不同的濾材，但其所用濾料孔隙較大；空氣過濾器的入口質(zhì)量濃度一般低于5mg/m3，而其出口質(zhì)量濃度有的可以低到1m3空氣幾個微粒計數(shù)。