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無(wú)塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

關(guān)于無(wú)塵車間知識(shí)其實(shí)有各種不同角度的，比如做潔凈室服裝的就說(shuō)人體是潔凈室內(nèi)很大的污染源，但無(wú)塵車間廠房的保潔技術(shù)不是一個(gè)新概念，一件合格潔凈室服裝對(duì)維持潔凈室的環(huán)境有著至關(guān)重要的作用，研究潔凈服的評(píng)價(jià)方法，對(duì)潔凈服(潔凈性能、靜電性能、耐久性和舒適性)的生產(chǎn)、設(shè)計(jì)和選購(gòu)進(jìn)行指導(dǎo)，從研究潔凈服作為一個(gè)入口有著相當(dāng)重要的意義;也比如做凈化設(shè)備廠的，將提供裝配潔凈室〈潔凈級(jí)別為百級(jí)至三十萬(wàn)級(jí)〉，系列凈化工作臺(tái)、風(fēng)淋室、通風(fēng)口、FFU層流罩、取樣車、初、中、空氣過(guò)濾器、鋁合金風(fēng)口、散流器、調(diào)節(jié)閥、消聲器，系列多功能空調(diào)器等凈化空調(diào)需要的所有產(chǎn)品及配件，術(shù)業(yè)專攻，善用其利器。

微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來(lái)，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢(qián)”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢(qián)，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開(kāi)始的設(shè)計(jì)定型。