LF2000-A 超大流量氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)是一款高精度、快速響應(yīng)、高穩(wěn)定性產(chǎn)品，本產(chǎn)品為熱式氣體質(zhì)量流量流量控制器/流量計(jì)，利用氣流流過毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，從而測(cè)得氣體的質(zhì)量流量。其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響，由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反映氣體瞬時(shí)流量，所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測(cè)量和控制。

技術(shù)指標(biāo)

滿量程范圍（N2） ： 300...3000Ln/min

量程比： 控制器 50:1   流量計(jì)：100:1

精度：   ±2.0%F.S

線性： ±0.5%F.S

重復(fù)性：±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間： 1S-4S

工作壓差：0.3...0.7MPa

最大耐壓： 3MPa

工作環(huán)境溫度： 5...45℃ ℃

泄漏率： 1 ×10 -8 Pa.m 3 /s

流量設(shè)定信號(hào)： 0...5VDC   4...20mA

流量輸出信號(hào)： 0...5VDC   4...20mA

供電方式： 24VDC

密封材料： 丁晴橡膠 氟橡膠

接頭尺寸： 12mm   1/2” 3/4” 法蘭 其他

產(chǎn)品應(yīng)用

真空鍍膜設(shè)備

半導(dǎo)體工藝設(shè)備

化學(xué)與化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備

食品科學(xué)與工程設(shè)備

能源與環(huán)境保護(hù)設(shè)備

各種分析儀器設(shè)備

表面處理

真空冶金及材料工藝

高校及科研院所實(shí)驗(yàn)室設(shè)備