Nmark AGV-HP高精度激光振鏡掃描儀

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AGV-HP振鏡掃描儀系統(tǒng)上使用的高度可重復(fù)且熱穩(wěn)定的反饋傳感器可以在整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)校準(zhǔn)至單位個(gè)數(shù)微米級(jí)的精度（請(qǐng)參見(jiàn)下圖）。憑借位置傳感器的極低的熱增益漂移性能，需要很長(zhǎng)時(shí)間才能完成的復(fù)雜的高密度激光加工應(yīng)用將在整個(gè)過(guò)程的生命周期內(nèi)保持一致的微米級(jí)特征放置精度。同樣，高通量應(yīng)用程序?qū)⒈３忠恢碌牧慵g質(zhì)量，而無(wú)需在零件之間重新校準(zhǔn)。為了獲得的熱穩(wěn)定性，AGV-HP掃描儀可以配備水冷裝置，以在負(fù)載變化，環(huán)境溫度變化或輸入光圈夾住光束的情況下穩(wěn)定設(shè)備的工作溫度。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

· 可用的精度掃描儀在整個(gè)視場(chǎng)中達(dá)到單位微米級(jí)的精度

· 光學(xué)反饋技術(shù)大大提高了熱穩(wěn)定性

· 與Aerotech的Nmark GCL控制器一起使用時(shí)，業(yè)界的分辨率> 24位

· 各種光圈和焦距

· 適用于各種激光波長(zhǎng)的多種鏡面處理選擇

實(shí)時(shí)過(guò)程可視性

可以實(shí)時(shí)捕獲和分析AGV-HP（O）鏡的位置。通過(guò)直接訪(fǎng)問(wèn)掃描儀的位置，用戶(hù)不再需要編程延遲參數(shù)來(lái)補(bǔ)償伺服系統(tǒng)中的滯后和跟蹤誤差?？梢栽跇?biāo)記零件之前優(yōu)化工藝，從而節(jié)省時(shí)間并減少材料浪費(fèi)。激光的狀態(tài)也可以基于就位和速度標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行控制，從而進(jìn)一步降低了編程復(fù)雜度。

高級(jí)編程功能

AGV-HP（O）利用了Aerotech的所有先進(jìn)運(yùn)動(dòng)和PSO（位置同步輸出）功能，這些功能是為基于傳統(tǒng)伺服的激光加工應(yīng)用開(kāi)發(fā)的。諸如“加速限制”之類(lèi)的輪廓功能可用于自動(dòng)減小急轉(zhuǎn)彎或小半徑時(shí)的速度，以程度地減小過(guò)沖?？梢曰趲в蠵SO的反射鏡的位置反饋來(lái)觸發(fā)激光，以確保隨著掃描儀速度的改變，一致的光斑重疊。Aerotech的無(wú)限視場(chǎng)（IFOV）功能無(wú)縫地結(jié)合了伺服和掃描儀的運(yùn)動(dòng)，從而在伺服平臺(tái)的整個(gè)行程中擴(kuò)展了掃描儀的標(biāo)記功能，從而消除了在更傳統(tǒng)的移動(dòng)重復(fù)曝光過(guò)程中可能發(fā)生的拼接錯(cuò)誤。

設(shè)計(jì)選擇

AGV-HP（O）系列具有10、14、20和30毫米的輸入光圈，并可直接從Aerotech裝備F-Theta或遠(yuǎn)心鏡頭。用戶(hù)還可以直接從值得信賴(lài)的供應(yīng)商處購(gòu)買(mǎi)聚焦光學(xué)器件，而Aerotech提供了一個(gè)定位環(huán)，以確保通過(guò)光學(xué)器件的背反射不會(huì)損壞掃描鏡。支持各種紫外線(xiàn)，可見(jiàn)光，紅外線(xiàn)和二氧化碳波長(zhǎng)的鏡面涂層。還提供針對(duì)超快激光進(jìn)行了優(yōu)化的涂層。

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