北京芯笙微納電子科技有限公司
主營產(chǎn)品: 質(zhì)量流量計, 質(zhì)量流量控制器, 氣體質(zhì)量流量計, 電磁比例閥
江蘇氣體質(zhì)量流量計艾利卡特ALICAT-MC質(zhì)量流量控制器和流量顯示儀接真空泵
價格
訂貨量(臺)
¥8900.00
≥1
¥7850.00
≥2
¥6850.00
≥5
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美國艾利卡特ALICAT雙向型氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部補償型層流壓差專利技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥,正向或反向測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設(shè)計模式,一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣,實現(xiàn)了僅用一臺設(shè)備便可同時控制開放式或密閉容器內(nèi)上游、下游端流量,以及正壓、背壓。
江蘇氣體質(zhì)量流量計艾利卡特ALICAT-MC質(zhì)量流量控制器和流量顯示儀接真空泵
性能指標
介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類:內(nèi)置了98種氣體,請參考“產(chǎn)品資料”氣體兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
量程:從-0.5SCCM~0.5SCCM 到-3000SLPM~3000SLPM
量程比:200:1
顯示流量:-FS~FS
顯示屏:帶按鍵,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式:同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度:±(0.4%RD + 0.2%FS),選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性:± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ?C / Atm
響應(yīng)時間:100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時間:<1s
標定工況:25?C & 100kPa 絕壓、20?C & 100kPa 絕壓、0?C & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度:-10 ~ +50 ?C
工作濕度:0-,無冷凝
標準工作壓力:1MPa 表壓
標準極限耐壓:1.2MPa 表壓
中壓選項:2MPa
江蘇氣體質(zhì)量流量計艾利卡特ALICAT-MC質(zhì)量流量控制器和流量顯示儀接真空泵
數(shù)字輸入/輸出信號:RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)
供電電流:250mA ~ 750mA
電氣接口:8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì):302不銹鋼、Viton、RTV、玻璃增強尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式:對位置無要求 防護等級:IP40