美國艾利卡特ALICAT雙向型氣體質量流量控制器采用內部補償型層流壓差專利技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。雙向型質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節(jié)閥，正向或反向測量與控制過程氣體的質量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設計模式，一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣，實現(xiàn)了僅用一臺設備便可同時控制開放式或密閉容器內上游、下游端流量，以及正壓、背壓。 

湖北高準質量流量控制器ALICAT-MCS質量流量控制器和流量顯示儀接真空泵

 

性能指標

介質要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類：內置了98種氣體，請參考“產品資料”氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
顯示流量：-FS～FS
顯示屏：帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
重復性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
響應時間：100ms(可調) 預熱時間：<1s
標定工況：25?C & 100kPa 絕壓、20?C & 100kPa 絕壓、0?C & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ?C
工作濕度：0-,無冷凝
標準工作壓力：1MPa 表壓
標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa

湖北高準質量流量控制器ALICAT-MCS質量流量控制器和流量顯示儀接真空泵
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質：302不銹鋼、Viton、RTV、玻璃增強尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對位置無要求 防護等級：IP40

 

從這個角度上看，頻譜分析儀更適合測量晶體頻率。2儀器測量頻率的精度從下面兩個方面來分析儀器的哪些參數(shù)影響到測量精度-內部時鐘精度-測量值分辨率初步定性分析，頻率計作為專業(yè)測試設備，內部時鐘精度不差，從定期的儀器校驗結果看，精度高于1ppm，特別是它的分辨率12bit是非常高的；頻譜分析儀的時鐘精度看上去也可以，而且1Hz的分辨率滿足測試要求，但實際掃描到功率峰值的頻率是否穩(wěn)定還需要驗證；而示波器的時鐘精度看上去與前兩者相差并不大，但需要考慮到：量化誤差（前端信號采集系統(tǒng)的8位ADC引起的信號幅度測量誤差）引起的垂直電平測量不準確性，以及采樣率不足等因素都會引起水平軸的測量誤差，終導致頻率值測量誤差，而且其分辨率情況需要實測驗證。