美國(guó)ZYGO帶軟件6寸干涉儀 激光干涉儀

本公司現(xiàn)有美國(guó)原裝4寸   6寸激光干涉儀出售：配置有電腦設(shè)備原裝軟件一個(gè)平面的鏡頭  支架。
隨著科技的進(jìn)步,現(xiàn)代干涉測(cè)量技術(shù)具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等優(yōu)點(diǎn),在各項(xiàng)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。根據(jù)ZYGO干涉儀測(cè)量方案構(gòu)建了一個(gè)測(cè)量樣品面形的實(shí)驗(yàn)光路,并對(duì)一系列樣品進(jìn)行測(cè)量,通過(guò)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)鏡與被測(cè)樣品表面之間所夾空氣層的干涉圖像分析,可以得到被測(cè)樣品的表面面形狀況,并可以通過(guò)MetroPro軟件直接讀取波峰波谷值PV、均方值rms、矢高Power、干涉條紋圖、截面面形高度圖、面形厚度假色圖等,測(cè)量精度達(dá)到儀器指標(biāo)。本文研究測(cè)量原理,擴(kuò)展ZYGO干涉儀對(duì)測(cè)量薄膜厚度和曲率半徑的應(yīng)用。

主要參數(shù)1、干涉儀主機(jī)配計(jì)算機(jī)及操作軟件，激光穩(wěn)頻，QPSI抗震移相,精度1/10 Wave（PV）；

2、球面標(biāo)準(zhǔn)鏡尺寸為4，精度為1/10 Wave（PV）；

3、平面標(biāo)準(zhǔn)鏡尺寸為4，精度為1/20 Wave（PV）；

4、五維調(diào)整架（xy偏心，xy俯仰，z軸平移，繞z軸旋轉(zhuǎn)）與自定心夾具配合，最大夾持尺寸為4；

5、精密直線導(dǎo)軌形成1m，最小位移0.020 μm，精度±4.0 μm；

6、主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)，長(zhǎng)/寬/高（mm）2400/1500/200，0.5-10HZ振動(dòng)隔離

GPI? XP/D激光干涉儀--運(yùn)用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半徑，樣品表面質(zhì)量，傳輸波前的測(cè)量和分析。

GPI? XP/D是ZYGO在中國(guó)甚至全世界市場(chǎng)占有率最高的一款激光干涉儀，廣泛應(yīng)用于科研教學(xué)和生產(chǎn)檢測(cè)中。GPI? XP/D主機(jī)為Fizeau型干涉儀，測(cè)量精度高且操作簡(jiǎn)單，采用精密移相技術(shù)和高分辨率CCD接收器件640Х480（可以升級(jí)為1024×1024），配合功能強(qiáng)大的MetroPro?軟件可以獲得高重復(fù)性和高精度的測(cè)量結(jié)果，其三平板絕對(duì)測(cè)量重復(fù)性優(yōu)于λ/300，rms重復(fù)性優(yōu) 于λ/10,000。并能模擬樣品表面面形，并顯示鮮明的，可旋轉(zhuǎn)的3D彩色圖像，可選的剖面圖以及各種統(tǒng)計(jì)數(shù)字結(jié)果等。同時(shí)，針對(duì)特殊的樣品、 特殊的測(cè)量需求，可以為用戶設(shè)計(jì)定制特殊的測(cè)量系統(tǒng)，結(jié)合MetroPro?軟件，為用戶提供完美的技術(shù)解決方案并獲得滿意的測(cè)量結(jié)果。

可應(yīng)用于：

? 平面和球面的面形檢測(cè)

? 平面楔角測(cè)量、直角棱鏡的直角偏差和任意角度的加工偏差

? 光學(xué)材料均勻性測(cè)量

? 角錐角度和面形偏差測(cè)量

? 精密盤片質(zhì)量檢驗(yàn)

? 三平板絕對(duì)測(cè)量

? 雙球面絕對(duì)測(cè)量

? 靜態(tài)干涉條紋判斷

? 澤尼克多項(xiàng)式分析

? 球面曲率半徑測(cè)量