電子無塵廠房潔凈空調工程的常用方案比較
目前國內還沒有統(tǒng)一的電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求 統(tǒng)一規(guī)定，所以一般是依據(jù)《潔凈廠房設計規(guī)范》（GB50073-2001）以及電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家實際經(jīng)驗等來確定電子廠房的潔凈等級和溫濕度的要求。
1.室內空氣參數(shù)要求
（1）溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5％。
（2）新風量大。由于這類車間內，人員比較多，可根據(jù)以下數(shù)值應取下列的
值：非單向流潔凈室總風量的10—30％；補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量；保持室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。
（3）送風量大。為了滿足無塵車間內的潔凈毒幾熱濕平衡，需要較大的風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300X2.5X30=22500m3/h的送風量（換氣次數(shù)，是≥25次/h）；如果是十萬級的，送風量就需要300X2.5X20=15000 m3/h的送風量（換氣次數(shù)，是≥15次/h）。
2．空調方案的選用比較
（1）組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是一個傳統(tǒng)的凈化空調系統(tǒng)的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段，初效過濾段，表冷段，二次回風段（或中間段），加熱段，加濕段，中效過濾段，風機段等。其冷源由冷水機組提供。
優(yōu)點：A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度，濕度的控制比較精確；B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房；C.空調冷熱源可于廠房普通空調系統(tǒng)合用或獨立冷熱源；D.維修頻率較低，E.車間的噪音低。
缺點：A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房，如25000m3/h的組合式空調機組，常用外型尺寸為6450X1850X2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20—30m2的空調機房；B.造價高。特點：A.建議新風經(jīng)過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的處理負擔；C.這類方案一般可以適用于潔凈度較高的如百級，千級或萬級，十萬級等較低的凈化無塵廠房。
（2）水冷機組+增壓風柜+高效送風口
與種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大的縮小機房的面積，水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小的機房內或凈化車間內，增壓風柜可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
優(yōu)點：A.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組（增壓風柜）里進行控制；B.布置靈活。自帶冷源；C.大小廠房，新舊廠房都適用；D.維修頻率較低；E.車間噪音低。
缺點：A..需要小面積的機房。需要有冷卻塔，冷卻水泵的擺放位置；B.空調機組與空氣處理機組要集中布置；C.造價較低。特點：這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據(jù)車間的大小情況來定；這類方案一般可適用于潔凈度為千級，萬級，十萬級等的凈化無塵廠房。
2.分體空調柜機+FFU送風口
這是簡單的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口（帶初效過濾網(wǎng)）；FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
優(yōu)點：A.不需要占用機房面積，布置很靈活；B.可以滿足空氣的潔凈度；C.造價。如300m2的無塵車間初投資約需要40萬；D.送風均勻度好。
缺點：A.溫濕度控制較差；B.可以滿足空氣的潔凈度；C.FFU的維修頻率高。
總結
對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調的設計，應根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟條件來選用哪種空調設計方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根絕以往經(jīng)驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案；對于要求不高的，又要初投資的，可以選用柜機+FFU。總之，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。
電子廠房凈化空調方式的選擇
摘要：本文詳細比較新風機組+混風機組+高效過濾器與新風機組+干盤管+FFU這兩種凈化空調方式的特點，從初投資及運行能耗進行分析，說明新風機組+干盤管+FFU這種凈化空調方式是現(xiàn)實可行的，并根據(jù)實際經(jīng)驗總結在設計過程中需要注意的一些問題。
關鍵詞：凈化空調方式；初投資；運行能耗；現(xiàn)實可行
當前的電子廠房潔凈室潔凈等級大部份在1000級（ISO6級）—10000級（ISO7級）之間，其相當?shù)膿Q氣次數(shù)平均在25—60次/H,要求的潔凈室環(huán)境參數(shù)比較嚴格，大部份要求為室內溫度22±2℃，相對濕度55±5%，潔凈室內工藝設備發(fā)熱量大，部份工藝設備排除熱量所需的排風量也很大。由于要求高，發(fā)熱量大，導致電子廠房潔凈室空調系統(tǒng)的能耗是很驚人的，所以在設計之初對于潔凈室空調系統(tǒng)的方式選擇就需要認真考慮。
根據(jù)筆者的實際工程經(jīng)驗，目前大多數(shù)已建成的電子廠房中，潔凈室的空調系統(tǒng)一般都會使用常規(guī)凈化空調方式---新風機組+混風機組+高效過濾器（HEPA），而另一種凈化空調方式---新風機組+干盤管+FFU（FFU為英文縮寫，全稱為FanFilter Unit, 中文意思為風機過濾器單元）比較少見，原因有：（1）常規(guī)凈化方式一直沿用，不愿更新改變；（2）部分企業(yè)認為新風機組+干盤管+FFU方式的潔凈空調系統(tǒng)是用于高潔凈度(≥100級)要求的項目中，擔心用于1000級—10000級項目時造價會偏高。為此，本文著重從兩種空調方式的特點及能耗方面進行分析探討，說明新風機組+干盤管+FFU方式的潔凈空調系統(tǒng)在電子廠房是確實可行的，并總結此凈化空調方式在設計過程中需要注意的一些問題。

電子無塵凈化車間潔凈空調設計方案參考
凈化方案一：
組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是一個傳統(tǒng)的凈化空調系統(tǒng)的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
方案特點：
A.建議新風經(jīng)過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔; B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
凈化方案二：
水冷柜機+增壓風柜+高效送風口
與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內,增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
方案特點：
A.建議新風經(jīng)過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔; B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
凈化方案三：
分體空調柜機+FFU送風口
這是簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));佰倫風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點：
A、無塵車間的潔凈度：LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。 B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。 C、新風量大 D、送風量大
電子無塵凈化車間潔凈等級說明
電子無塵凈化車間配套設備材料
電子無塵凈化車間設計要求
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術在行業(yè)中則處于地位。
光學微電子凈化工程一般包括：
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
電子凈化工程凈化原理光學微電子凈化工程結構材料：
1、 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2、 地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3、 送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、 高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

電子廠無塵車間凈化
SMT車間介紹
SMT無塵車間（凈化車間）用于實施表面貼裝或表面組裝技術的有潔凈度要求的組裝或裝配車間。溫度控制在23±3℃為佳，相對濕度控制在50-60%之間，并使人感到舒適。
SMT對室內空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮沉為主要對象，同時控制溫濕度、新風、噪音。
噪聲級不應大于65dB（A），靜壓差不應小于10pa，不同潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5pa，無塵車間內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m³。
SMT基本工藝流程
印刷（或點膠）--> 貼裝--> （固化）--> 回流焊接--> 清洗--> 檢測--> 返修
SMT凈化車間系統(tǒng)
SMT無塵車間溫濕度標準
溫度：在SMT無塵車間內組裝或裝配的多是精密電子元器件，所以室內溫度要控制在23±3℃為佳，一般要求17℃～28℃，要求為15℃～35℃。
濕度：過高或過低的濕度都會影響電子元器件的質量，過高會導致材料受潮而變得不明感，過低則會產(chǎn)生靜電。具體來說，濕度要控制在45%～70%RH，要求為30%～55%RH或40%～80%RH。
潔凈室的溫度、濕度范圍
房間性質
溫度（℃）
濕度（%）
冬季
夏季
冬季
夏季
生產(chǎn)工藝有溫濕度要求的潔凈室
按生產(chǎn)工藝要求確定
生產(chǎn)工藝無溫濕度要求的潔凈室
20～22
24～26
30～50
50～70
人員凈化及生活用室
16～20
20～30
空氣潔凈度等級
行業(yè)
10級
100級
1000級
萬級
10萬級
SMT
◎
◎
◎
車間風速、換氣次數(shù)
空氣潔凈度等級
氣流流型
平均風速（m/s）
換氣次數(shù)（h-1）
1～4
單向流
0.3～0.5
-
5
單向流
0.2～0.5
-
6
非單向流
-
50～60
7
非單向流
-
15～25
8～9
非單向流
-
10～15
SMT凈化車間工程系統(tǒng)組成
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化房和部分生活用室等）
3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、 設備區(qū)（包括凈化空調系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）
SMT潔凈車間圍護系統(tǒng)方案
1、無塵車間墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3、送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
SMT車間地面系統(tǒng)防靜電方案
1、素地處理： 依素地狀況做好打磨、修補、除塵；
2、防靜電底漆：采用滲透性及附著力特強防靜電環(huán)氧底漆滾涂一道，增強表面附著力；
3、防靜電中涂：防靜電中涂將環(huán)氧樹脂加入適量的石英砂，用鏝刀將其均勻涂布一至二道；
4、銅箔鋪設： 導電銅箔采用井型鋪設，有效排除累積之靜電，并做接地處理；
5、防靜電批土：防靜電批土依實際需要施工數(shù)道，要求達到平整無孔洞，無批刀印及砂磨印準；
6、防靜電面漆：防靜電面漆滾涂二道，其體積/表面電阻平均系數(shù)值1.0×104~106Ω，完工后地面顏色均一，無空鼓；
7、施工完成：24小時后方可上人，72小時后方可重壓。（25℃為準，低溫時開放時間需適度延長)

電子廠房潔凈空調工程常用方案比較
電子無塵廠房潔凈空調工程的常用方案比較
目前國內還沒有統(tǒng)一的電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求 統(tǒng)一規(guī)定，所以一般是依據(jù)《潔凈廠房設計規(guī)范》（GB50073-2001）以及電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家實際經(jīng)驗等來確定電子廠房的潔凈等級和溫濕度的要求。
1.室內空氣參數(shù)要求
（1）溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5％。
（2）新風量大。由于這類車間內，人員比較多，可根據(jù)以下數(shù)值應取下列的
值：非單向流潔凈室總風量的10—30％；補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量；保持室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。
（3）送風量大。為了滿足無塵車間內的潔凈毒幾熱濕平衡，需要較大的風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300X2.5X30=22500m3/h的送風量（換氣次數(shù)，是≥25次/h）；如果是十萬級的，送風量就需要300X2.5X20=15000 m3/h的送風量（換氣次數(shù)，是≥15次/h）。
2．空調方案的選用比較
（1）組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是一個傳統(tǒng)的凈化空調系統(tǒng)的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段，初效過濾段，表冷段，二次回風段（或中間段），加熱段，加濕段，中效過濾段，風機段等。其冷源由冷水機組提供。
優(yōu)點：A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度，濕度的控制比較精確；B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房；C.空調冷熱源可于廠房普通空調系統(tǒng)合用或獨立冷熱源；D.維修頻率較低，E.車間的噪音低。
缺點：A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房，如25000m3/h的組合式空調機組，常用外型尺寸為6450X1850X2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20—30m2的空調機房；B.造價高。特點：A.建議新風經(jīng)過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的處理負擔；C.這類方案一般可以適用于潔凈度較高的如百級，千級或萬級，十萬級等較低的凈化無塵廠房。
（2）水冷機組+增壓風柜+高效送風口
與種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大的縮小機房的面積，水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小的機房內或凈化車間內，增壓風柜可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
優(yōu)點：A.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組（增壓風柜）里進行控制；B.布置靈活。自帶冷源；C.大小廠房，新舊廠房都適用；D.維修頻率較低；E.車間噪音低。
缺點：A..需要小面積的機房。需要有冷卻塔，冷卻水泵的擺放位置；B.空調機組與空氣處理機組要集中布置；C.造價較低。特點：這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據(jù)車間的大小情況來定；這類方案一般可適用于潔凈度為千級，萬級，十萬級等的凈化無塵廠房。
2.分體空調柜機+FFU送風口
這是簡單的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口（帶初效過濾網(wǎng)）；FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
優(yōu)點：A.不需要占用機房面積，布置很靈活；B.可以滿足空氣的潔凈度；C.造價。如300m2的無塵車間初投資約需要40萬；D.送風均勻度好。
缺點：A.溫濕度控制較差；B.可以滿足空氣的潔凈度；C.FFU的維修頻率高。
總結
對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調的設計，應根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟條件來選用哪種空調設計方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根絕以往經(jīng)驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案；對于要求不高的，又要初投資的，可以選用柜機+FFU?？傊唧w的方案選擇根據(jù)具體情況而定。