保存條件 在潔凈環(huán)境中室溫保存

使用注意事項 避免陽光直射，防止撞擊。使用過程中注意不能用手觸摸硅基片，特別是標記用來掃描校準的區(qū)域，要用合適的鑷子來夾取。觸控型的探針進行掃描時，應(yīng)避免使用小探針時加載過大壓力而造成劃傷。例如在半徑小于等于1 μm的探針上加載超過0.1mN的壓力時會劃傷硅片表面。

特征形態(tài) 固態(tài)

基體

主要分析方法 絕對測量法

臺階樣片范圍覆蓋10nm~100μm、膜厚樣片范圍覆蓋2nm~1000nm，技術(shù)指標達到國際商品化樣片同等水平。