保存條件 在潔凈環(huán)境中室溫保存

使用注意事項(xiàng) 避免陽(yáng)光直射，防止撞擊。使用過(guò)程中注意不能用手觸摸硅基片，特別是標(biāo)記用來(lái)掃描校準(zhǔn)的區(qū)域，要用合適的鑷子來(lái)夾取。觸控型的探針進(jìn)行掃描時(shí)，應(yīng)避免使用小探針時(shí)加載過(guò)大壓力而造成劃傷。例如在半徑小于等于1 μm的探針上加載超過(guò)0.1mN的壓力時(shí)會(huì)劃傷硅片表面。

特征形態(tài) 固態(tài)

基體

主要分析方法 絕對(duì)測(cè)量法

臺(tái)階樣片范圍覆蓋10nm~100μm、膜厚樣片范圍覆蓋2nm~1000nm，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際商品化樣片同等水平。