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等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)在溫度相對較低的真空條件下進(jìn)行

如果要在半導(dǎo)體基材上沉積氮化硅，有兩種方法可供使用：

利用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在相對較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進(jìn)行。

等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)在溫度相對較低的真空條件下進(jìn)行。

氮化硅的晶胞參數(shù)與單質(zhì)硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同，生成的氮化硅薄膜會有產(chǎn)生張力或應(yīng)力。特別是當(dāng)使用等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)時，能通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來減少張力。

先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，然后同時利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細(xì)碳粒子的硅膠進(jìn)行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細(xì)碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產(chǎn)生的。

氮化硅涂料能有效解決鋼坯熱處理過程

氮化硅涂料能有效解決鋼坯熱處理過程中氧化燒損問題。納米硅酸鹽涂料防氧化效果明顯，能使原來普通熱軋板所產(chǎn)生的3％-5％的氧化皮降到0.1％-0.8％，使不銹鋼熱軋板所產(chǎn)生的1％-3％的氧化皮降到0.2％以下。

氮化硅炮泥。含有氮化硅的炮泥，將起到有效的燒結(jié)的作用、耐腐蝕性的作用及抗分裂性的作用，應(yīng)用于爐體或電爐中能夠?qū)⒏郀t爐口更加穩(wěn)定的封好，并且非常容易破割。

氮化硅在HRB400高強度熱軋鋼筋有很好的應(yīng)用。Si3N4作為增氮劑，配合FeV用于生產(chǎn)V微合金化Ⅲ級鋼筋，鋼筋性能優(yōu)良穩(wěn)定，是生產(chǎn)HRB400 Ⅲ級鋼筋的一種新合金化工藝。

氮化硅在單位質(zhì)量氮含量中僅次于氮化硼，價格較低，從而在增氮方面有非常高的性價比。

氮化硅是一種常見的陶瓷材料，具有非常好的自潤滑性，而且耐磨性和耐腐蝕的性能都非常好，因此，在多種領(lǐng)域的應(yīng)用非常的廣泛。

氮化硅在軸承上的應(yīng)用主要的是制作混合軸承?；旌陷S承是種球或滾子是氮化硅材料，內(nèi)外圈由金屬制作的軸承。氮化硅作為混合軸承的球或其它滾子，其應(yīng)用市場也越來越大。氮化硅在磨損時會表現(xiàn)出與軸承鋼很相似的特性，即只是發(fā)生剝落形成麻點，而不是完全破碎，雖然摩擦阻力而使噪音增大了，但軸承仍然可以運轉(zhuǎn)。在貧潤滑甚干運轉(zhuǎn)的情況下，或者遇材質(zhì)突然破壞的情況下，也可以繼續(xù)運轉(zhuǎn)，表現(xiàn)出良好的應(yīng)急狀態(tài)。