圍繞塵埃來(lái)源和塵埃積聚對(duì)潔凈廠房保潔技術(shù)有如下要點(diǎn)：

1、頂棚：頂棚材料多采用表面光滑材料，如彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板，可以采用吸附力強(qiáng)的無(wú)塵抹布擦拭表面，并配合伸縮桿、老虎夾等工具使用，得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。

2、墻面：墻面材料多采用表面光滑材料，如玻璃、彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板、不銹鋼板，可以采用吸附力強(qiáng)的無(wú)塵抹布、無(wú)塵抹水器擦拭表面，并配合玻璃刮、伸縮桿、老虎夾等工具使用，得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。

微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來(lái)，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開(kāi)始的設(shè)計(jì)定型。

對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無(wú)塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見(jiàn)地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破了，不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí)，也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。