KLA臺階儀-D-300-探針式-表面輪廓儀
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KLA臺階儀 D-300 探針式 表面輪廓儀 接觸式 高精度
Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)??烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力,可以對工藝進行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
二、 功能
設備特點
· 臺階高度:幾納米至1000μm
· 低觸力:0.5至15mg
· 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭
· 梯形失真校正:側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真
· 圓弧校正:由于探針的弧形運動引起的誤差
· 緊湊尺寸:占地面積的臺式探針式輪廓儀
主要應用
· 臺階高度:2D臺階高度
· 紋理:2D粗糙度和波紋度
· 形式:2D翹曲和形狀
· 應力:2D薄膜應力
應用領(lǐng)域
· 半導體和復合半導體
· SIMS:二次離子質(zhì)譜
· LED:發(fā)光二極管
· 太陽能
· MEMS:微電子機械系統(tǒng)
· 汽車
· 設備