渦輪分子泵的大致原理如下所示。

在氣體分子相互碰撞之前的距離即平均自由行程增大的空間(一般是指0.1Pa以下的真空區(qū)域)內(nèi)，氣體

分子將撞在高速移動(dòng)的壁上，即氣體分子沖擊著轉(zhuǎn)子葉片。該氣體分子被轉(zhuǎn)子葉片彈出時(shí)，以垂直于轉(zhuǎn)子

葉片表面的180°立體角進(jìn)行反射，與入射方向無(wú)關(guān)。假設(shè)轉(zhuǎn)子葉片表面上沒(méi)有發(fā)生熱交換，彈出的氣體

分子速度為其自身的熱運(yùn)動(dòng)速度與轉(zhuǎn)子速度的矢量和。由于轉(zhuǎn)子賦予氣體分子的速度由其幾何形狀和轉(zhuǎn)速

而定，因此氣體分子從無(wú)方向性的熱運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為有方向性的運(yùn)動(dòng)。

MAG 中磁懸浮軸承運(yùn)行中沒(méi)有磨損。除了磁懸浮軸承，MAG 還有保護(hù)軸承，該軸承保

護(hù)轉(zhuǎn)子以防泵有外部振動(dòng)時(shí)與定子發(fā)生機(jī)械接觸，并在停泵時(shí)支撐轉(zhuǎn)子。保護(hù)軸承使用壽命

有限。請(qǐng)遵守以下說(shuō)明才能達(dá)到最大使用壽命。

· 泵運(yùn)行時(shí)，避免振動(dòng)和沖擊（例如來(lái)自其他泵），沖擊尤其有害。如果泵有在機(jī)械軸承

上運(yùn)行的現(xiàn)象，則立刻停泵。

· 避免頻繁開(kāi)機(jī)和關(guān)機(jī)。

· MAG 不要突然接觸已經(jīng)抽真空的真空室。壓力沖擊會(huì)使轉(zhuǎn)子接觸保護(hù)軸承，結(jié)果增加

磨損。

· 不要用電源控制MAG 停機(jī)。用停機(jī)命令。在泵運(yùn)行的同時(shí)切斷電源將使保護(hù)軸承發(fā)

生磨損。如果電源意外斷開(kāi)，重新連接。