半自動(dòng)探針臺(tái)/晶圓測試探針臺(tái)/半導(dǎo)體探針臺(tái)/高低溫探針臺(tái)/SemiProbe

品牌：SemiProbe

型號：PS4L SA-x

描述：SemiProbe半自動(dòng)探針臺(tái)采用了 SemiProbe 獨(dú)家專利技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了無與倫比的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金和費(fèi)用。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，卡盤支架，卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動(dòng)，光學(xué)組件，操縱器等都是可以更換的，使得 PS4L 系列探針臺(tái)以其極大的靈活性和性價(jià)比滿足了多種應(yīng)用需求，為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及完美的解決方案。更重要的是，PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以使探針臺(tái)在一個(gè)基本平臺(tái)的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級?？筛鶕?jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級，由手動(dòng)探針臺(tái)升級為半自動(dòng)探針臺(tái)，半自動(dòng)探針臺(tái)升級為全自動(dòng)探針臺(tái)，或者6”升級為8”，8”升級為12”，增加密閉測試倉，增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸，自動(dòng)化的程度或者測試要求發(fā)生改變時(shí)，PS4L 也無需重新更換新的平臺(tái)，便可用最短的時(shí)效和最少的費(fèi)用完成測試。

PILOT控制軟件：

SemiProb的半自動(dòng)探針系統(tǒng)使用 SemiProbe 的 PILOT 控制軟件包進(jìn)行操作，軟件和 PS4L 硬件一樣采用的是SemiProbe 獨(dú)家專利技術(shù) Probe System for Life(PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)。PILOT 軟件包是一款模塊化最明顯、最直觀且易操作的軟件。在不改變核心控制軟件的前提上，客戶可增添控制模塊來增加額外的功能和附件。其一般的功能比如2點(diǎn)校準(zhǔn)，功能強(qiáng)大且易操作——甚至不經(jīng)常操作設(shè)備的用戶也非常容易上手。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 可靈活改變測試尺寸

l 半自動(dòng)測試，節(jié)省測試時(shí)間

l 可升級為全自動(dòng)探針系統(tǒng)

l 模塊化設(shè)計(jì)，可以更換關(guān)鍵部件

l 結(jié)構(gòu)簡潔，方便操作

應(yīng)用范圍：

l 光伏工業(yè)

l 材料科學(xué)

l 光電行業(yè)

l 失效分析

l 通信器件測試

l 微機(jī)電技術(shù)

技術(shù)參數(shù)（型號：PS4L SA-4）：

產(chǎn)品尺寸：900 mm x 650 mm x 750 mm

重量：80Kg

輸入電壓：110/220V 50/60Hz,20A

真空:23 Hg or -0.8 bar

卡盤X-Y軸軌道：NEMA 17步進(jìn)電機(jī)，光學(xué)線性編碼器

行程:105*105mm

速度：50mm/s(最大)

平面性:±6μm

分辨率:0.1μm

重復(fù)性：±0.5μm

精度：±3um

卡盤Z軸軌道：行程：15mm

分辨率：0.5μm

 重復(fù)性：±1.5μm

θ移動(dòng)：行程：±4°（可定制）

 分辨率:0.0008°

卡盤類型：真空或機(jī)械夾緊，圓形或方形，三軸，高頻，高壓/高電流，高低溫等

壓盤：鋁和不銹鋼頂部，可拆卸前楔

360度機(jī)械手放置

壓盤位移：可選擇固定和線性調(diào)節(jié)

          線性調(diào)節(jié)范圍：40mm粗調(diào)，200um微調(diào)

可選配件：包括探針卡，操縱器，操縱臂和基座， 探針，激光，光學(xué)部件，CCTV 系統(tǒng)，隔振臺(tái)，暗箱。

                   半自動(dòng)探針臺(tái)/晶圓測試探針臺(tái)/半導(dǎo)體探針臺(tái)/高低溫探針臺(tái)/SemiProbe