全自動(dòng)探針臺/真空探針臺/晶圓測試探針臺/12英寸探針臺/SemiProbe

品牌：SemiProbe

型號：PS4L FA-x

描述：SemiProbe全自動(dòng)探針臺采用了 SemiProbe 獨(dú)家專利技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了無與倫比的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金和費(fèi)用。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，卡盤支架，卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動(dòng)，光學(xué)組件，操縱器等都是可以更換的，使得 PS4L 系列探針臺以其極大的靈活性和性價(jià)比滿足了多種應(yīng)用需求，為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及完美的解決方案。更重要的是，PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以使探針臺在一個(gè)基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級。可根據(jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級，由手動(dòng)探針臺升級為半自動(dòng)探針臺，半自動(dòng)探針臺升級為全自動(dòng)探針臺，或者6”升級為8”，8”升級為12”，增加密閉測試倉，增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸，自動(dòng)化的程度或者測試要求發(fā)生改變時(shí)，PS4L 也無需重新更換新的平臺，便可用最短的時(shí)效和最少的費(fèi)用完成測試。

PILOT控制軟件：

SemiProb的全自動(dòng)探針系統(tǒng)使用 SemiProbe 的 PILOT 控制軟件包進(jìn)行操作，軟件和 PS4L 硬件一樣采用的是SemiProbe 獨(dú)家專利技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)。PILOT 軟件包是一款模塊化最明顯、最直觀且易操作的軟件。在不改變核心控制軟件的前提上，客戶可增添控制模塊來增加額外功能和附件。其一般的功能比如2點(diǎn)校準(zhǔn)，功能強(qiáng)大且易操作——甚至不經(jīng)常操作設(shè)備的用戶也非常容易上手。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 同一系統(tǒng)可滿足多種應(yīng)用需求—— DC，高頻率，OPTO，MEMS 以及更多

l 有三種操作模式可選：全自動(dòng)(不間斷工作)、半自動(dòng)和手動(dòng)

l 可處理不同尺寸的晶圓

l 可測試芯片、晶圓

l 可處理薄的和彎曲的晶圓或者硅和III-V 族化合物

l 靈活的 PILOT 控制軟件- 自動(dòng)晶圓和芯片對準(zhǔn)，Z 高度探測和分析，晶圓形貌，界面和更多。

l 可提供多種配件-熱夾盤，光學(xué)部件，CCTV 系統(tǒng)，條形碼閱讀器，OCR，操縱器，探針卡和更多。

l 模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有無與倫比的靈活性

l 系統(tǒng)可升級：6”升級為8”，8”升級為12”等

應(yīng)用范圍：

l 光伏工業(yè)

l 材料科學(xué)

l 光電行業(yè)

l 失效分析

l 通信器件測試

l 微機(jī)電技術(shù)

l 高頻/微波測試

l 半導(dǎo)體技術(shù)

技術(shù)參數(shù)（型號：PS4L FA-6）：

產(chǎn)品尺寸：900 mm x 1625 mm x 2438 mm

重量：240Kg

輸入電壓：110/220V 50/60Hz,20A

真空：23 Hg or -0.8 bar

卡盤X-Y軸軌道：NEMA 17步進(jìn)電機(jī)，光學(xué)線性編碼器

行程:155*155mm（可升級）

 速度：50mm/s

平面性:±8μm

分辨率:0.1μm

精度：±3μm

重復(fù)性：±0.5μm

卡盤Z軸軌道：行程：15mm

分辨率：0.5μm

 重復(fù)性：±1.5μm                

θ移動(dòng)：行程：±4°（可定制）

分辨率:0.00001°

卡盤類型：真空或機(jī)械夾緊，圓形或方形，三軸，高頻，高壓/高電流，高低溫等

壓盤：鋁和不銹鋼頂部，可拆卸前楔

360度機(jī)械手放置

壓盤位移：可選擇固定和線性調(diào)節(jié)

          線性調(diào)節(jié)范圍：40mm粗調(diào)，200um微調(diào)

可選配件：包括探針卡，操縱器，操縱臂和基座， 探針，激光，光學(xué)部件，CCTV 系統(tǒng)，隔振臺，暗箱。

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