掃描隧道顯微鏡STM-主動式隔振臺-主動減震臺-防振臺-Herz

品牌：HERZ

型號：AVI-400M

描述：AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界領(lǐng)先的主動隔振性能（從0.5 Hz開始）。AVI系列平臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計，無需為大多數(shù)儀器（包括大多數(shù)SEM）安裝所需的升降設(shè)備，從而簡化了安裝過程。適用于各類大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,干擾儀防震臺，輪廓儀防震臺，電子太平防震臺，超快激光系統(tǒng)防震臺，時頻系統(tǒng)防震臺，大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺，激光設(shè)備主動防震！

工作原理：

安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設(shè)備造成不利影響，最有效的解決方案則是使用隔振臺（減振臺），以便營造最適合該設(shè)備的條件。

主動隔振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生最佳的振動隔離狀態(tài)。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。AVI系列平臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

產(chǎn)品亮點： 

六個空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)                                                                            

5-20ms響應(yīng)時間                                                                   

低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單

系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除

緊湊、模塊化的多功能設(shè)計

穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年

無低頻共振、無空氣要求

應(yīng)用范圍：

超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）

光刻工具

高精度計量工具

光譜儀器

升級選項：

可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)：

型號：AVI-400M

系統(tǒng)配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置

主動隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz

被動隔振范圍:大致為200 Hz以上

顯示屏信號:多路復(fù)用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。

LEDs 指示輸出階段的過載情況。

單元尺寸(每個):190 x 720 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

隔振單元重量: 20kg

負(fù)載能力:800 kg (同等/低重心)

輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗：通常18W

校正力：水平最大8N，垂直最大16N

系統(tǒng)噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz

靜態(tài)柔度：垂直約1.7 μm/N，水平約3.4 μm/N

溫度范圍：5℃ - 40℃

相對濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室內(nèi)/室外使用：僅用于室內(nèi)

隔振效果：

性能對比圖：SEM的研究人員在兩種獨特條件下進行成像：不含隔振系統(tǒng)和包含AVI系列隔振臺。當(dāng)使用AVI系列隔振臺搭載SEM時，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。

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