主動(dòng)防震臺(tái)-電子顯微鏡隔震臺(tái)-主動(dòng)式防震臺(tái)-Herz

品牌：Herz                                  

型號(hào)：AVI-600M

描述：AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究?jī)x器提供業(yè)界領(lǐng)先的主動(dòng)隔振性能（從0.5 Hz開(kāi)始）。AVI系列平臺(tái)通過(guò)消除影響測(cè)量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺(tái)采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì)，無(wú)需為大多數(shù)儀器（包括大多數(shù)SEM）安裝所需的升降設(shè)備，從而簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程。適用于各類大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,干擾儀防震臺(tái)，輪廓儀防震臺(tái)，電子太平防震臺(tái)，超快激光系統(tǒng)防震臺(tái)，時(shí)頻系統(tǒng)防震臺(tái)，大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)，激光設(shè)備主動(dòng)防震！

工作原理：

安裝有測(cè)量和制造設(shè)備的地板或多或少會(huì)有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對(duì)設(shè)備造成不利影響，最有效的解決方案則是使用隔振臺(tái)（減振臺(tái)），以便營(yíng)造最適合該設(shè)備的條件。

主動(dòng)隔振臺(tái)使用電氣控制，通過(guò)對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng)，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生最佳的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺(tái)擅長(zhǎng)于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。

AVI系列主動(dòng)隔振臺(tái)采用先進(jìn)的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng)，包括水平和垂直方向。AVI系列平臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來(lái)傳感外界傳入的振動(dòng)，通過(guò)將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號(hào)來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來(lái)消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振?？蔀閷?shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來(lái)自地面的震動(dòng)，提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。

產(chǎn)品亮點(diǎn)： 

六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動(dòng)隔振, >200Hz被動(dòng)隔振)                                                                            

5-20ms響應(yīng)時(shí)間                                                                   

低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡(jiǎn)單

系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除

緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)

穩(wěn)定性高，能無(wú)故障連續(xù)使用多年

無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求

應(yīng)用范圍： 

超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）

光刻工具

高精度計(jì)量工具

光譜儀器

升級(jí)選項(xiàng)：

可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來(lái)增強(qiáng)低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)：AVI-600S/LP

系統(tǒng)配置：獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置

主動(dòng)隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz

被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上

顯示屏信號(hào):多路復(fù)用信號(hào)用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。

LEDs 指示輸出階段的過(guò)載情況。

單元尺寸(每個(gè)):288 x 396 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm

隔振單元重量:  23kg

負(fù)載能力:1200 kg (同等/低重心)

輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗：通常27W

校正力：水平最大12N，垂直最大24N

系統(tǒng)噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz

靜態(tài)柔度：垂直約1μm/N，水平約2 μm/N

溫度范圍：5℃ - 40℃

相對(duì)濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室內(nèi)/室外使用：僅用于室內(nèi)

隔振效果：

性能對(duì)比圖：SEM的研究人員在兩種獨(dú)特條件下進(jìn)行成像： 不含隔振系統(tǒng)和包含AVI-400系列隔振臺(tái)。當(dāng)使用AVI系列隔振臺(tái)搭載SEM時(shí)，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測(cè)量清晰度得到大幅提升。

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