SpectraRay/4，SENTECH專利所有的光譜橢偏測量軟件，包括數(shù)據(jù)采集、建模、擬合和橢偏測量、反射和傳輸數(shù)據(jù)的擴展報告。它支持可變角度、多實驗和組合光度測量。SpectraRay/4包括基于SENTECH厚度測量和文獻數(shù)據(jù)的龐大的材料數(shù)據(jù)庫。大量的散射模型允許對幾乎任何類型的材料建模。

SpectraRay/4提供了用戶友好的面向工作流的接口來操作SENTECH光譜橢偏測量工具以及建模、擬合和表示橢偏測量數(shù)據(jù)的綜合工具集。用戶界面結合了面向操作人員的配方模式以及用于交互式測量和建模的高級模式。

SpectraRay/4具有單軸和雙軸各向異性材料測量、薄膜厚度測量和層測量的功能。該軟件可處理樣品效應，如去極化，非均勻性，散射(米勒矩陣)，以及背面反射。

SpectraRay/4包括用于數(shù)據(jù)導入和導出(包括ASCII)、文件管理、光譜的算術操作、顯示、打印和報告輸出(Word文件格式*.doc)的通用光譜橢偏測量軟件包的所有實用程序。腳本程序使得它非常靈活，適用于自動化日常測量，為苛刻的應用所研發(fā)，并可控制第三方硬件，如傳感器，加熱臺，樣品電池或低溫恒溫器。