不同元素的熒光x射線具有各自的特定波長或能量，因此根據(jù)熒光x射線的波長或能量可以確定元素的組成。如果是波長色散型光譜儀，對于一定晶面間距的晶體，由檢測器轉(zhuǎn)動的2e角可以求出x射線的波長入，從而確定元素成份。對于能量色散型光譜儀，可以由通道來判別能量，從而確定是何種元素及成份。但是如果元素含量過低或存在元素間的譜線干擾時，仍需人工鑒別。首先識別出管靶材的特征x射線和強(qiáng)峰的伴隨線，然后根據(jù)能量標(biāo)注剩余譜線。在分析未知譜線時，要同時考慮到樣品的來源、性質(zhì)等元素，以便綜合判斷。

3、X熒光光譜儀定量分析

X射線熒光光譜法進(jìn)行定量分析的根據(jù)是元素的熒光X射線強(qiáng)度Ii與試樣中該元素的含量Ci成正比:Ii=Is×Ci式中Is為Ci=100%時，該元素的熒光X射線的強(qiáng)度。根據(jù)上式，可以采用標(biāo)準(zhǔn)曲線法、增量法、內(nèi)標(biāo)法等進(jìn)行定量分析。但是這些方法都要使標(biāo)準(zhǔn)樣品的組成與試樣的組成盡可能相同或相似，否則試樣的基體效應(yīng)是指樣品的基本化學(xué)組成和物理化學(xué)狀態(tài)的變化對X射線熒光強(qiáng)度所造成的影響?；瘜W(xué)組成的變化，會影響樣品對一次X射線和X射線熒光的吸收，也會改變熒光增應(yīng)。例如，在測定不銹鋼中Fe和Ni等元素時，由于一次X射線的激發(fā)會產(chǎn)生Nika熒光X射線，Nika在樣品中可能被Fe吸收，使Fe激發(fā)產(chǎn)生Feka。測定Ni時，因為Fe的吸收效應(yīng)使結(jié)果偏低，測定Fe時，由于熒光增應(yīng)使結(jié)果偏高。

WDXRF以其的準(zhǔn)確度、精密度和可靠性著稱。這種強(qiáng)大的分析技術(shù)，使其可用于所有形式的工業(yè)應(yīng)用，包括：水泥生產(chǎn)、玻璃生產(chǎn)、、選礦、鋼鐵及有色金屬、石油和石化、聚合物及相關(guān)行業(yè)、制藥、保健產(chǎn)品和環(huán)保等。

WDXRF 光譜儀中，X 射線光管用作直接照射樣品的光源，并且使用波長色散式檢測系統(tǒng)來測量樣品發(fā)出的熒光。 分光晶體根據(jù)波長（而不是能量）來分離 X 射線，可用于識別每種不同元素發(fā)出的特征輻射。 此類分析可以通過逐一（依次）測量不同波長的 X 射線強(qiáng)度來完成，或者在固定位置同時測量所有不同波長的 X 射線強(qiáng)度。 X射線管需要高功率，需要專門的冷卻裝置（水冷或油冷），需要分光晶體及測角儀，因此波譜儀的價格往往比能譜儀高。

土壤是重金屬污染的主要載體，也是重金屬污染防治，修復(fù)的主要目標(biāo)。摸清土壤污染狀況，監(jiān)測土壤污染動態(tài)是污染防治的基礎(chǔ)。土壤中重金屬污染的分析除了常見的原子吸收，等離子體發(fā)射光譜和等離子體質(zhì)譜法之外，使用zui頻繁的是X射線熒光光譜儀(XRF), 按照儀器設(shè)計與檢測原理的不同，XRF產(chǎn)品可分為能量色散EDXRF與波長色散型WDXRF。其中EDXRF有分為臺式與手持式儀器。

   在固體廢棄物，尤其是廢舊電器產(chǎn)品的重金屬檢測(Rohs)指令也日益重要，在這類應(yīng)用中，臺式EDXRF或便攜手持式XRF經(jīng)常作為有害重金屬元素的初級篩查工具在市場上得以廣泛應(yīng)用。