我國學(xué)者對不同時期WDXRF的進(jìn)展曾予以評述。WDXRF譜儀從儀器光路結(jié)構(gòu)來看，依然是建立在布拉格定律基礎(chǔ)之上，但儀器面目全新?？v觀30年來的發(fā)展軌跡，可總結(jié)出如下特點(diǎn) 。

檢測技術(shù)的改進(jìn)提高了檢測速度。探測器技術(shù)及用于脈沖信號處理的電子學(xué)線路的迅速發(fā)展，在允許的死時間情況下，探測器接收光子的數(shù)量提高了1個數(shù)量級以上，如流氣正比計數(shù)管由100 kcps提高到 2500 kcps，在保證同樣分析精度情況下，元素的測定時間縮短了近10倍。如在20世紀(jì)80年代使用順序式 WDXRF譜儀測定硅酸鹽中10個常規(guī)元素需要約30 min，現(xiàn)在僅需3 min 左右。為了將計數(shù)率控制在探測器所允許的計數(shù)線性范圍內(nèi)，譜儀在測定同一元素的不同含量時可依據(jù)計數(shù)率自動調(diào)節(jié)管電流，確保在條件下測量，在時間內(nèi)獲得分析工作者預(yù)定的分析結(jié)果準(zhǔn)確度。采用新的計數(shù)線路和多道分析器(MCA) 取代原有脈沖高度分析器，不僅可有效地扣除高次線干擾和晶體熒光干擾，且可同時處理不同幅度的脈沖信號，記錄脈沖信號較原來快了100倍。

基本參數(shù)法已用于常規(guī)分析。在定量分析過程中，進(jìn)行基體校正時，在20世紀(jì)80年代初商用軟件配有經(jīng)驗(yàn)影響系數(shù)法校正的程序，今天各個廠家生產(chǎn)的儀器配置了在線基本參數(shù)法程序或可變理論影響系數(shù)法程序，當(dāng)試樣的物理化學(xué)形態(tài)與標(biāo)準(zhǔn)樣品相似的情況下，使用少量標(biāo)準(zhǔn)樣品甚至一個標(biāo)準(zhǔn)樣品，也可以獲得的定量分析結(jié)果。

該方法為X射線熒光分析法在硫化礦樣品分析領(lǐng)域的拓展提供了一套可借鑒的分析程序,有一定的實(shí)際應(yīng)用價值。隨著分析技術(shù)由整體分析向微區(qū)分析發(fā)展,地學(xué)研究由宏觀表征向微觀信息獲取的發(fā)展,巖礦的分析研究已經(jīng)由宏觀深入到更微觀的領(lǐng)域。目前實(shí)驗(yàn)室常規(guī)使用的微區(qū)分析技術(shù)包括電子探針、激光燒蝕等離子體質(zhì)譜和各類電子顯微鏡等。微區(qū)X射線熒光光譜分析(Micro-XRF)技術(shù)作為一種基于普通X射線熒光的無損分析技術(shù),是X射線光譜學(xué)領(lǐng)域的重要分支,可實(shí)現(xiàn)微米級微小區(qū)域內(nèi)樣品中多元素定性或定量分析,成為獲取樣品微區(qū)結(jié)構(gòu)元素空間線掃描、面掃描分布及時序性信息的有力工具。使用了臺式能量色散X射線熒光儀,對氧化物組合標(biāo)樣和礦物光片點(diǎn)掃描,對31個礦物光片和涂有防曬霜的指紋樣品進(jìn)行面掃描,5個金屬薄膜片點(diǎn)掃描。