閉管擴散要用石英管，這是由于石英管能耐1250℃左右的高溫，而且在1800℃以上時會變得很柔軟且很粘，能做成所需要的形狀。另一方面，由于石英管采用的原料是特級水晶石，純度高，含有害的雜質很少，對于擴散、配制合金等能保證質量，因此閉管擴散常采用石英管。石英管的制備：根據擴散硅片直徑的不同，來選擇石英管的內徑、壁厚等參數。