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射頻電源產生等離子的原理，是在一個密閉的真空壓力容器內，利用真空泵獲得一定的真空度，射頻被饋入到真空室的兩個極板之間。在兩個極板之間產生一個變電場。氣體在電場上被電離，產生相對應的離子。帶電離子被加速不斷的碰撞氣體分子產生級聯(lián)效應。就這樣產生了輝光，從而產生了等離子體。

射頻電源區(qū)別于其他直流電源，偏壓電源，中頻電源的優(yōu)勢：當交流電源的頻率低于50kHz時，氣體放電的情況與直流時候的相比沒有根本的改變。當頻率超過50kHz以后，放電過程開始出現變化：
1、在兩極之間不斷振蕩運動的電子可從高頻電場中獲得足夠的能量并使得氣體分子電離，而由電離過程產生的二次電子對于維持放電的重要性相對下降；
2、高頻電場可以經由其它阻抗耦合進入沉淀室，而不必再要求電極一定要是導體。也可以認為，由于所用電源是射頻的，射頻電流可以通過絕緣體兩面間的電容而流動。

射頻電源的工作原理：
射頻收發(fā)核心電路射頻即Radio Frequency，通?？s寫為RF。表示可以輻射到空間的電磁頻率，頻率范圍從300KHz～30GHz之間。射頻簡稱RF射頻就是射頻電流，它是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。每秒變化小于1000次的交流電稱為低頻電流，大于10000次的稱為高頻電流，而射頻就是這樣一種高頻電流。

射頻電源是可以產生固定頻率的正弦波電壓，頻率在射頻范圍（約3KHz～300GHz）內、具有一定功率的電源。
射頻電源已廣泛應用于半導體工藝設備；LED與太陽能光伏產業(yè)；科學實驗中的等離子體發(fā)生；射頻感應加熱；；常壓等離子體消毒清洗等。
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