半導(dǎo)體特氣工程 實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì) 半導(dǎo)體特氣供氣系統(tǒng) 飛世爾

實(shí)驗(yàn)室氣路改造設(shè)計(jì)有哪些要求？

1. 氣瓶連接器和調(diào)節(jié)閥之間應(yīng)設(shè)置有能耐高壓的金屬軟管，以利于氣瓶的更換。

2. 安裝防爆止回閥

3. 確保氣體的純度和管道系統(tǒng)的氣密性，選用二級(jí)減壓系統(tǒng)，且所有管道均采用316L不銹鋼管道，內(nèi)表面經(jīng)AP處理。

4. 為方便后續(xù)閥門部件的維護(hù)和更換，管道與閥門部件之間的連接應(yīng)采用高壓雙卡套接頭連接；固定部位則選用耐高溫金屬材料制作；調(diào)節(jié)閥的控制面板通常選用不銹鋼材質(zhì)。

5. 為了實(shí)驗(yàn)室氣路改造的安全考慮，在氣瓶和儀器之間用一個(gè)安全平防止氣流倒灌；氧氣不得接觸污物、有機(jī)物，以防止助燃；對(duì)于腐蝕性氣體的儲(chǔ)存，如不經(jīng)常使用則不要防止在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，且氣瓶和附件應(yīng)經(jīng)常檢查。