冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力、抽氣速率真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢，被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域，如半導(dǎo)體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設(shè)備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。


單級：主要件有硅黃銅80-3鑄成的葉輪通過鍵固定由45號優(yōu)質(zhì)碳素制成的軸上，葉輪裝在由耐磨鑄鐵HT20-40鑄成的泵體、泵蓋所構(gòu)成的泵工作室內(nèi)，動力機(jī)通過聯(lián)軸器帶動支在軸承中的軸和葉輪，泵就工作，耐磨鑄鐵HT20-40制成的軸套，與襯套（6N6和4N6X2）之間有著水潤滑的滑動軸承的作用，泵體后的填料函內(nèi)裝有填料環(huán)，及填料油浸石墨石棉繩，開口填料壓蓋，借助加長雙頭螺栓壓緊填料，并可調(diào)整松緊,外部引入高于大氣壓的密封水，通過接管對準(zhǔn)填料環(huán)，并在整個填料函內(nèi)就形成隔絕空氣侵入泵內(nèi)的密封腔，同時阻止泵內(nèi)水向外流，僅有少量的潤滑水滴出。


出水部分由接管、泵座等件組成；泵的傳動軸從該部分的中心穿過；從泵工作部流出的液體經(jīng)該部分后水平進(jìn)入泵外壓力管道。泵座上設(shè)有密封函體、泄壓孔、脫汽孔；泄壓孔用以將軸封腔內(nèi)壓力減至；脫汽孔用以將泵筒體內(nèi)的氣體及時排至凝汽器。推力裝置由推力軸承、軸承體、調(diào)整螺母等組成。泵產(chǎn)生的軸向力由平衡鼓平衡掉95%，其余殘余軸向力由推力軸承承受。如果軸向力由電機(jī)承受，則沒有此部分。