LEXT OLS4500是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的新型納米檢測(cè)顯微鏡，可以實(shí)現(xiàn)從50倍到100萬(wàn)倍的超大范圍的觀察和測(cè)量。

OLS4500為您帶來(lái)的解決方案       

實(shí)現(xiàn)納米級(jí)觀測(cè)的新型顯微鏡。不會(huì)丟失鎖定的目標(biāo)。       

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法

配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元?？梢詿o(wú)縫切換倍率和觀察方法，不會(huì)丟失觀察對(duì)象。此外，該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級(jí)觀測(cè)。                   

涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。       

 可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，先進(jìn)光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來(lái)多種觀察方法，可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。此外，對(duì)于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對(duì)象，還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉（DIC）觀察中，可以進(jìn)行納米級(jí)微小凹凸的實(shí)時(shí)觀察。       

縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間。       

放置好樣品后，所有的操作都在1臺(tái)裝置上完成。可以迅速，正確的把觀察對(duì)象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。       

一體機(jī)的機(jī)型，所以無(wú)需重新放置樣品只要在1臺(tái)裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對(duì)新樣品。       

OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機(jī)，所以無(wú)需重新放置樣品，即可自由切換3種顯微鏡進(jìn)行觀察和評(píng)價(jià)。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能，所以能夠輸出結(jié)果。                   

OLS4500實(shí)現(xiàn)了無(wú)縫觀察和測(cè)量       

【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象，在SPM上正確完成觀察

【納米級(jí)測(cè)量】簡(jiǎn)單操作，可以迅速獲得測(cè)量結(jié)果        

 新開(kāi)發(fā)的小型SPM測(cè)頭， 減少了影像瑕疵       

新開(kāi)發(fā)的小型SPM測(cè)頭

            使用向?qū)Чδ埽?可以觀察時(shí)進(jìn)一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標(biāo)指針設(shè)置放大范圍并掃描，            就可以獲取所需的SPM影像?？梢宰杂稍O(shè)置掃描范圍， 所以大幅度提高了觀察和測(cè)量的效率。       

向?qū)Чδ茉?0μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍

優(yōu)異的分析功能， 應(yīng)對(duì)各種測(cè)量目的       

曲率測(cè)量（硬盤(pán)的傷痕）

OLS4500能夠根據(jù)您的測(cè)量目的分析在各種測(cè)量模式中獲取的影像，并以CSV格式輸出測(cè)量結(jié)果。OLS4500有以下分析功能。                       

• 截面形狀分析（曲率測(cè)量、夾角測(cè)量）                           
• 粗糙度分析                           
• 形態(tài)分析（面積、表面積、體積、高度、柱狀值、承載比）                           
• 評(píng)價(jià)高度測(cè)量（指定線、指定面積）                           
• 粒子分析（選項(xiàng)功能）                           

跟從向?qū)М?huà)面的指示， 可輕松操作的6種SPM測(cè)量模式       

接觸模式       

            控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時(shí)， 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描， 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。還可以進(jìn)行彎曲測(cè)量。       

金屬薄膜

 動(dòng)態(tài)模式       

            使微懸臂在共振頻率附近振動(dòng)， 并控制Z方向的距離使振幅恒， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度。特別適用于高分子化合物之類(lèi)表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。       

鋁合金表面

 相位模式       

            在動(dòng)態(tài)模式的掃描中， 檢測(cè)出微懸臂振動(dòng)的相位延遲?？梢栽谟跋裰谐尸F(xiàn)樣品表面的物性差。       

高分子薄膜

電流模式       

            對(duì)樣品施加偏置電壓，檢測(cè)出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外，還可以進(jìn)行I/V測(cè)量。       

Si電路板上的SiO2圖案樣品。高度影像（左）中顯示為黃色的部分是SiO2。在電流影像（右）中顯示                        
為藍(lán)色（電流不經(jīng)過(guò)的部分）。通過(guò)上圖，可以明確電路板中也存在電流不經(jīng)過(guò)的部分。

                    

表面電位模式（KFM）       

            使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓， 檢測(cè)出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。也稱(chēng)作KFM（Kelvin Force Microscope）。       

磁帶樣品。在電位影像中可以看出數(shù)百mV的電位差分布于磁帶表面。這些電位差的分布，可以認(rèn)為                        
是磁帶表面的潤(rùn)滑膜分布不均勻。

                    

磁力模式（MFM）       

            在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描， 檢測(cè)出振動(dòng)的微懸臂的相位延遲， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。也稱(chēng)作MFM（Magnetic Force  Microscope）。       

硬盤(pán)表面樣品?？梢杂^察到磁力信息。

                    

裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應(yīng)對(duì)多種樣品       

輕松檢測(cè)85°尖銳角       

            采用了有著高N.A. 的專(zhuān)用物鏡和專(zhuān)用光學(xué)系統(tǒng)（能限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。       

LEXT 專(zhuān)用物鏡

有尖銳角的樣品（剃刀）

 高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓         

0.12μm行間距

高度差標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測(cè)量中的檢測(cè)

                    

從大范圍拼接影像中指定目標(biāo)區(qū)域       

可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測(cè)量，也可用于信息量較多的面粗糙度測(cè)量       

激光顯微鏡的面粗糙度測(cè)量（105μm×105μm）               探針顯微鏡的面粗糙度測(cè)量（10μm×10μm）
                       

 

 光學(xué)顯微鏡的原理和特長(zhǎng)       

    

• 明視場(chǎng)觀察                   最基本的觀察方法，通過(guò)樣品的反射光成像進(jìn)行觀察                           
• 微分干涉觀察               給樣品表面的微小凹凸添加明暗對(duì)比，使之變?yōu)榭梢暤牧Ⅲw影像                           
• 簡(jiǎn)易偏振光觀察          照射偏振光（有著特定振動(dòng)方向的光線），把樣品的偏光性變?yōu)榭梢曈跋?nbsp;                          

激光顯微鏡的原理和特長(zhǎng)       

 可進(jìn)行亞微米級(jí)觀察和測(cè)量的激光顯微鏡（LSM:Laser Scanning Microscope)       

激光顯微鏡的高精度XY掃描（示例）

 探針顯微鏡的原理和特長(zhǎng)       

  可以觀察納米級(jí)微觀世界的探針顯微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)       

探針顯微鏡的原理

探針顯微鏡（SPM）是通過(guò)機(jī)械式地用探針在樣品表面移動(dòng)，檢測(cè)出探針與樣品之間產(chǎn)生的力、電的相互作用，同時(shí)進(jìn)行掃描，從而得到樣品影像。探針尖端曲率半徑為10nm左右。典型的探針顯微鏡是原子力顯微鏡（AFM），它通過(guò)檢測(cè)探針和樣品表面之間作用的引力和張力進(jìn)行掃描并獲得影像。探針顯微鏡能夠觀察納米級(jí)微觀形貌，可以捕捉到樣品最精細(xì)的一面。                   

通過(guò)微懸臂掃描進(jìn)行納米觀察       

SPM傳感器光路圖

OLS4500上采用了光杠桿法——通過(guò)高靈敏度檢測(cè)出最前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量（位移）來(lái)進(jìn)行觀測(cè)的方法。在懸臂的背面反射激光，并用壓電元件驅(qū)動(dòng)Z軸，使激光照射到光電檢測(cè)器的指定位置，從而正確讀取Z方向的微小位移。                   

多種觀察模式在影像中呈現(xiàn)表面形狀和物性       

高分子薄膜

探針顯微鏡擁有多種觀察模式，可以觀察、測(cè)量樣品表面的形狀，還可以進(jìn)行物性分析。OLS4500配有以下模式。                       

• 接觸模式： 在影像中呈現(xiàn)表面形狀（較硬的表面）                           
• 動(dòng)態(tài)模式： 在影像中呈現(xiàn)表面形狀（較軟的表面、有粘性的表面）                           
• 相位模式： 在影像中呈現(xiàn)樣品表面的物性差                           
• 電流模式*： 檢測(cè)出探針和樣品之間的電流并輸出影像                           
• 表面電位模式（KFM）*： 在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位                           
• 磁力模式（MFM）*： 在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁性信息                               
  * 該模式為選項(xiàng)功能。                           

決定高精細(xì)度、高質(zhì)量影像的微懸臂       

            探針位于長(zhǎng)度約100μm～200μm的薄片狀微懸臂的前端。您可以根據(jù)樣品選擇不同的彈簧常數(shù)、共振頻率。反復(fù)掃描會(huì)磨損探針，所以請(qǐng)根據(jù)需要定期更換微懸臂探針。