?采用直線電機，使搬運、推送和長度測量系統(tǒng)小型化。
?厚度：9mm，質量：130g（行程10mm時）。
?最大推力：6N。
?重復定位精度：±5μm。
?推進測長精度：±10μm。
?最高使用頻率：500cpm。