深圳斐達科技有限公司
主營產(chǎn)品: 定量閥, 擴晶環(huán), LED擴晶機, 電動黃油機
無錫半導(dǎo)體擴晶機設(shè)備-斐達半自動反轉(zhuǎn)擴膜機定制-4寸6寸7寸8寸10寸12寸芯片擴晶機
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1.將氣壓表擰入設(shè)備左側(cè)過濾器螺孔中。插上電源,氣管接頭插入氣源;
2.打開電源開關(guān)和溫控開關(guān),將溫度設(shè)定于55℃(不同晶片膜溫差異士5℃);
設(shè)置給定值:在基本顯示狀態(tài)下可以通過按∧,∨,<鍵來修改下顯示窗口顯示的設(shè)定溫度控制值。按∨鍵減小數(shù)據(jù),按∧鍵增加數(shù)據(jù),可修改數(shù)值位的小數(shù)點同時閃動(如同光標(biāo))。長按并保持不放可以快速地增加/減少數(shù)值,并且速度會隨小數(shù)點右移自動加快(2級速度)。而按<鍵則可直接移動修改數(shù)據(jù)的位置(光標(biāo)),按∧或∨鍵可修改閃動位置的數(shù)值,操作快捷。
3.通氣后上壓盤自動回到最上方,按下氣缸下按鈕,下壓盤回至最下方(反復(fù)幾次下氣缸動作,將上升速度調(diào)整至適合速度)
4.松開鎖扣,掀起上工件板,先將擴晶環(huán)內(nèi)環(huán)放于下壓模上,再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央,晶片朝上,將上工件板蓋上,鎖緊鎖扣。
5.按下氣缸上按鈕,下壓盤徐徐上升,薄膜開始向四周擴散,晶粒間隔逐漸拉大,當(dāng)晶片間隔擴散至原來的2~3倍時既停止上升,將擴晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內(nèi)環(huán)正上方。
6.按上氣缸按鈕(始終按壓)上壓盤下降,將擴晶環(huán)壓合后,松開按鈕上壓盤自動回至最上方。
7.按下氣缸下按鈕,下壓盤下降至最下方,取出擴晶完畢的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序備膠固晶。
8.調(diào)節(jié)行程螺母在設(shè)備后面最下部開孔處,調(diào)節(jié)好后請緊固鎖緊螺母。
9.上氣缸速度調(diào)節(jié)閥在氣缸上下部。下氣缸速度調(diào)節(jié)閥在設(shè)備后部小方孔處。