精密鋼管中合金元素對(duì)低溫回火脆性產(chǎn)生較大的影響，鉻和錳促進(jìn)雜質(zhì)元素磷等在奧氏體晶界偏聚，從而促進(jìn)低溫回火脆性，鎢和釩基本上沒(méi)有影響，鉬降低低溫回火精密鋼管的韌性——脆性轉(zhuǎn)化溫度，但尚不足以低溫回火脆性。硅能推遲回火時(shí)滲碳體析出，提高其生成溫度，故可提高精密管低溫回火脆性發(fā)生的溫度。熱處理工藝過(guò)程：真空淬火真空淬火爐按冷卻方法分為油淬和氣淬兩類(lèi)，按工位數(shù)分為單室式和雙室式，真空油淬爐都是雙室的，后室置電加熱元件，前室的下方置油槽。工件完成加熱、保溫后移入前室，關(guān)閉中門(mén)后向前室充入惰性氣至大約2.66%26times；l0~1 01%26times；10Pa（200~760mm貢柱），入油，油淬易引入工件表面變質(zhì)。由于表面活性大，在短暫的高溫油膜作用下即可發(fā)生顯著薄層滲碳，此外，碳黑和有在表面的粘附對(duì)簡(jiǎn)化熱處理流程不利。真空淬火技術(shù)的發(fā)展主要在于研制性能優(yōu)良、工位單一的氣冷淬火爐。前述雙室式爐亦可用于氣淬（在前室噴氣冷卻），但雙工位式的操作使大批量裝爐的生產(chǎn)發(fā)生困難，也易在高溫移動(dòng)中引起工件變形或改變工件方位增加淬火變形。單一工位的氣冷淬火爐是在加熱保溫完成后在加熱室內(nèi)噴漆冷卻。氣冷的冷速不如油冷快，也低于傳統(tǒng)淬火法中的熔鹽等溫、分級(jí)淬火。
因而，不斷提高噴冷室壓力，增大流量，以及采用摩爾質(zhì)量比氮和氧小的惰性氣體氦和氫，是當(dāng)今真空淬火技術(shù)發(fā)展的主流。70年代后期將氮?dú)鈬娎涞膲毫模?~2）%26times；10Pa提高到（5~6）%26times；Pa，使冷卻能力接近于常壓下的油冷。0年代中期出現(xiàn)超高壓氣淬，用（10~20）%26times；10Pa的氦，冷卻能力等于或略高于油淬，已進(jìn)入工業(yè)使用。90年代初采用40%26times；10Pa的，接近水淬的冷卻能力，尚處于起步階段。工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已進(jìn)展到已高壓（5~6）%26times；10Pa氣淬為主體，而產(chǎn)氣淬一些金屬的蒸氣壓（理論值）與溫度的關(guān)系則尚處于一般加壓氣淬（2%26times；10Pa）型階段。結(jié)果真空滲碳為真空滲碳——淬火工藝曲線。在真空中加熱到滲碳溫度并保溫使表面凈化、活化之后，通入稀薄滲碳富化氣，在大約1330Pa負(fù)壓下進(jìn)行滲入，然后停氣進(jìn)行擴(kuò)散。滲碳后的精密鋼管淬火采用一次淬火法，即先停電，通氮冷卻工件至臨界點(diǎn)A、一下，使內(nèi)部發(fā)生相變，在停氣、開(kāi)泵，升溫到Acl~accm之間。淬冷方法可采用氣冷或油冷，后者為奧氏體化后移入前室，充氮至常壓，入油。真空滲碳的溫度一般高于普通氣體滲碳，常采用920~1040℃滲入和擴(kuò)散可按所示分兩階段，也可用脈沖式通氣、停氣、多段式的滲一擴(kuò)相間，效果更好，由于溫度高，尤其表面潔凈，有活性，真空滲碳層形成速度比普通氣體、液體和固體滲碳快。