Nikon L300N/L300ND 尼康金相顯微鏡

介紹：

FPD/LSI檢查顯微鏡 

ECLIPSE L300反射照明專用型 

ECLIPSE L300N 反射專用型 

ECLIPSE L300ND 透反射兩用型 

集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，在亮度、對比度和可操作性能方面都達(dá)到的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

觀察樣品:

ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。

觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

使用CFI60光學(xué)系統(tǒng)，徹底消除耀斑影響，對比度更高，成象更加清晰、明亮；

物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求；

主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

尼康L300N/L300ND金相顯微鏡主要特點

? 專為300mm晶圓和光罩檢測 

? 利用更高的分辨率，對比度和CFI60光學(xué)系統(tǒng) 

? 更高的亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡 

? 新光源和四次美好的照明，先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計結(jié)果 

?預(yù)中心的燈箱提供更高的亮度，同時僅消耗一半的電力，并減少熱致離焦 

? 電動物鏡轉(zhuǎn)換器比傳統(tǒng)模式更耐用三倍

 應(yīng)用 ? 晶圓 ? 液晶顯示器 ? 其他各種檢查

 兩種機型可供選擇： 

?  L300N：Episcopic照明類型 

樣品尺寸：300mm晶圓 

第一階段行程：354 x302毫米 

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標(biāo)而定） 

?  L300ND：/ Episcopic照明類型 

樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD） 

第一階段行程：354 x302毫米（照明范圍：354 x268毫米）

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標(biāo)而定）

 各種各樣的觀測技術(shù) 

各種各樣的觀測技術(shù)，如明場，暗場，簡單的偏光，DIC和外延flourescence觀察，是可能的。 采用Epi - flourescence觀察，紫外激發(fā)可應(yīng)用于包括300mm晶圓和OLED檢查應(yīng)用。

 暗場觀察 

新開發(fā)的暗場照明光學(xué)顯著提高圖像的亮度和提高分鐘內(nèi)樣品的劃痕和拓樸的檢測能力。

 明場觀察 

尼康CFI60系統(tǒng) - 一個成功合并的CF光學(xué)系統(tǒng)無限遠(yuǎn)光學(xué) - 高亮度，高對比度的圖像。

 Nomarski DIC的觀測 

 尼康L300N/L300ND金相顯微鏡采用單棱鏡（Senarmont）系統(tǒng)，使所有的放大倍率DIC的觀察，通過簡單地插入物鏡轉(zhuǎn)換器單Nomarski棱鏡。  DIC的圖像清晰和與的色調(diào)明快，即使在低放大倍率。 高對比度型DIC的滑塊允許更大的敏感性形成的DIC圖像。