冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力最低、抽氣速率最大的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢，被廣泛的應(yīng)用于科學研究實驗室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域，如半導體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設(shè)備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。