晶圓片激光劃片-硅片-激光掏圓
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北京華諾恒宇光能科技有限公司
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晶圓激光切割與傳統(tǒng)的機械切割法相比,這種新的方法有幾個重要的優(yōu)點。首先,這是一步即可完成的、干燥的加工過程。邊緣光滑整齊,不需要后續(xù)的清潔和打磨。并且,激光引致的分離過程產(chǎn)生高強度、自然回火的邊緣,沒有微小裂痕。使用這種方法,避免了不可預料的裂痕和殘破,降低了次品率,提高了產(chǎn)量。
因為裂痕是精確地沿著激光光束所劃出的痕跡, 激光引致的分離可以切劃出非常精確的曲線圖案。我們所做的實驗也證明了無論直線或是曲線,激光切割都能連續(xù)地、精確地完成設定圖案,重復性可達+50μm。所以激光可以進行曲線圖形的精確切割。激光切割晶圓有速度快、精度高,定位準確等明顯優(yōu)勢。
華諾激光專注于微米級的激光精密切割、鉆孔、刻線、劃片、雕刻和特殊材料的打標,主要應用于LED芯片制造,觸摸屏,LCD,消費類電子,半導體,MEMS,照明,醫(yī)療等行業(yè),以及科研、航天航空等領域,涉及包括各種金屬及合金、半導體、陶瓷、各種透明材質、薄膜和聚合物等各種材料,公司已經(jīng)做過1000多個基于以上材料的各種激光微加工試驗和方案。
華諾激光業(yè)務范疇包括前期的方案可行性研究和新制程開發(fā)服務、中期小規(guī)模試產(chǎn)和論證、后期的規(guī)?;慨a(chǎn)業(yè)務外包等,華諾激光致力于成為國內(nèi)激光精密微加工和微制造的領跑者,為客戶提供定制化、低成本和完善的高端激光加工解決方案。
1.激光切割、劃片是非機械式的,屬于非接觸式加工,可以避免出現(xiàn)芯片破碎和其他損壞現(xiàn)象。
2.激光切割、劃片采用的高光束質量的光纖激光器對芯片的電性影響較小,可以提高更高的切割成品率。
3.激光切割速度為150mm/s。切割速度較快。
4.激光可以切割厚度較薄的晶圓,可以勝任不同厚度的晶圓劃片。
5.激光可以切割一些較為復雜的晶圓芯片,如六邊形管芯等。
6.激光切割不需要去離子水,不存在刀具磨損問題,可連續(xù)24小時作業(yè)。
7.激光具有很好的兼容性,對于不同的晶圓片,激光切割具有更好的兼容性和通用性。
晶圓片激光劃片 硅片 激光掏圓 制作精良—華諾激光晶圓硅片切割
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